JP2007098542A - 両面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置を大型化させることなく大型のワークの研磨を行うことができる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】回転駆動される平坦な研磨上面2aを有する下定盤2と、前記下定盤2に対向して配置され回転駆動される平坦な研磨下面4aを有する上定盤4と、前記下定盤2と前記上定盤4により挟持される板状のワークを保持するワーク保持孔を有するキャリアと、前記キャリアを前記下定盤2と前記上定盤4との間に保持するキャリア保持部材16と、前記キャリア保持部材16を前記下定盤2と前記上定盤4との間で揺動させる揺動機構24とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】回転駆動される平坦な研磨上面2aを有する下定盤2と、前記下定盤2に対向して配置され回転駆動される平坦な研磨下面4aを有する上定盤4と、前記下定盤2と前記上定盤4により挟持される板状のワークを保持するワーク保持孔を有するキャリアと、前記キャリアを前記下定盤2と前記上定盤4との間に保持するキャリア保持部材16と、前記キャリア保持部材16を前記下定盤2と前記上定盤4との間で揺動させる揺動機構24とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ワークの両面を平坦化するために研磨を行なう両面研磨装置に関するものである。
従来から両面研磨装置として種々の装置が存在するが遊星歯車機構を用いた両面研磨装置が存在する(例えば、特許文献1参照)。この遊星歯車機構を用いた両面研磨装置においては、回転可能に設けられた下定盤と、下定盤の上方に回転可能に設けられた上定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられるサンギヤと、下定盤の外周部に回転可能に設けられるインターナルギヤと、サンギヤとインターナルギヤとの間に噛合されて両ギヤの協働によって自転、公転するワークを保持可能なキャリアとを備え、下定盤と上定盤によりワークの両面の研磨を同時に行なっている。
ところで露光装置においては、基板の大型化に伴いフォトマスクも大型化している。フォトマスクの原料基板として用いられる合成石英ガラス基板(ワーク)には、清浄であること、傷がないこと、平坦であることなどが要求されるが、ワークの平坦度は露光時の焦点に影響を与えることから、特に重要な項目であり、フォトマスクとして用いられる大型のワークの平坦度をより向上させることが求められる。
しかしながら、上述の遊星歯車機構を用いた両面研磨装置を用いて、大型のワークの研磨を行なう場合には、両面研磨装置が大型化し、また装置の製造コストが増大するという問題がある。
この発明の課題は、装置を大型化させることなく大型のワークの研磨を行うことができる両面研磨装置を提供することである。
本発明の両面研磨装置は、回転駆動される平坦な研磨上面(2a)を有する下定盤(2)と、前記下定盤(2)に対向して配置され回転駆動される平坦な研磨下面(4a)を有する上定盤(4)と、前記下定盤(2)と前記上定盤(4)により挟持される板状のワーク(12)を保持するワーク保持孔(10a)を有するキャリア(10)と、前記キャリア(10)を前記下定盤(2)と前記上定盤(4)との間に保持するキャリア保持部材(16)と、前記キャリア保持部材(16)を前記下定盤(2)と前記上定盤(4)との間で揺動させる揺動機構(20,22)とを備えることを特徴とする。
本発明の両面研磨装置によれば、装置を大型化させることなく大型のワークの研磨を行うことができる両面研磨装置を提供することができる。
本発明の両面研磨装置によれば、装置を大型化させることがないことから、装置の製造コストを低減させることができ、低コストの両面研磨装置により大型のワークの両面研磨を良好に行うことができる。
図面を参照して、本発明の実施の形態に係る両面研磨装置について説明を行なう。図1は両面研磨装置の側面図、図2は両面研磨装置の下定盤、第1アーム及び第2アーム部分の平面図である。
本実施の形態に係る両面研磨装置は、円板形状を有する下定盤2と、円板形状を有する上定盤4とを備えている。下定盤2は平坦で且つ円形の研磨上面2aを有し、上定盤4は研磨上面2aに対向して配置された平坦で且つ円形の研磨下面4aを有している。下定盤2は、装置本体下部6に配設された図示しないモータにより回転駆動され、上定盤4は装置本体上部8に配設された図示しないモータにより回転駆動される。
下定盤2と上定盤4との間には、合成石英ガラスにより形成された板状のワーク12を保持するワーク保持孔10aを有する板状のワークキャリア10が配置されている。板状のワーク12は矩形形状を有し、ワーク保持孔10aは、板状のワーク12の大きさよりも僅かに大きい矩形形状を有している。ワークキャリア10により保持される板状のワーク12は、下定盤2の研磨上面2aと上定盤4の研磨下面4aにより挟持される。
図3はワークキャリア10の平面図であり、図4は図3のA−A断面図である。図3に示すように、ワークキャリア10は、対向する一方の2辺が平行であり、他方の2辺が円弧形状を有している。また、ワークキャリア10は、大型のワークを保持するものであり、矩形形状を有するワーク保持孔10aは、矩形形状の少なくとも一辺が研磨上面2a及び研磨下面4aの半径よりも大きく形成されている。
また、ワークキャリア10のワーク保持孔10aの内壁面には、ウレタンゴムにより形成された弾性部材14が備えられている。即ち、弾性部材14は、矩形形状を有するワーク保持孔10aの4隅近傍を除く4つの内壁面に備えられている。図4に示すように、弾性部材14は、ワーク保持孔10aの内壁面に設けられた凹部である溝に嵌め込むことにより固定されている。ここでワーク保持孔10aの内壁面に設けられた溝は、ワークキャリア10の表面と裏面の略中央にワークキャリア10の表面と裏面に平行な方向に延びるように設けられている。
なお、弾性部材14のワーク保持孔10aの内側方向の幅は、ワーク保持孔10aによりワーク12を保持した場合に、弾性部材14とワーク12との間に僅かな隙間ができる幅に設定されている。また、弾性部材14を構成するウレタンゴムは、60〜100度の硬度を有する。
ここで、硬度とは、試験方法:JIS K 6253のデュロメータ タイプAによるものであり。単位としてHsが用いられる。従って、例えば、硬度90度は、90Hsと表示される。
ワークキャリア10は、下定盤2と上定盤4との間においてキャリアリング(キャリア保持部材)16により保持されている。図5はキャリアリングによりワークキャリアが保持されている状態を示す平面図であり、図6は図5のB−B断面図である。キャリアリング16はリング形状を有し、キャリアリング16の内壁面の全周にリング形状の内部方向に張り出したフランジ部16aが設けられている。ワークキャリア10の円弧形状を有する両端部は、フランジ部16aにより支持されている。
キャリアリング16は、下定盤2と上定盤4の近傍に設けられた回動軸18により支持された第1アーム20及び第2アーム22により両側から挟持されている。第1アーム20及び第2アーム22は、揺動機構を構成し、図示しない回動手段により第1アーム20及び第2アーム22を回動軸18を中心として回動させることによりキャリアリング16を揺動させる。また、キャリアリング16を揺動機構による揺動方向と交差する方向、即ち図1において示す矢印方向に前進または後退させる進退機構24が備えられている。
この実施の形態に係る両面研磨機においてワークの研磨を行なう場合には、図示しない昇降手段を駆動させて上定盤4を上昇させ、キャリアリング16に保持されているワークキャリア10のワーク保持孔10aにワーク12を配置した後、昇降手段を駆動させて上定盤4を下降させ、下定盤2の研磨上面2aと上定盤4の研磨下面4aにより、ワーク12を挟持する。そして、図示しない研磨剤供給装置により、研磨剤を研磨上面2aと研磨下面4aに供給しながら、下定盤2及び上定盤4を逆方向に回転駆動して、研磨上面2aと研磨下面4aにより、ワークの両面を同時に研磨する。
この場合に、第1アーム20及び第2アーム22の揺動および進退機構24によるキャリアリングの前進または後退により、下定盤2の研磨上面2aと上定盤4の研磨下面4aの周速度の速い位置、即ち、研磨上面2aと研磨下面4aの外周部をワークの各位置に移動させながらワーク12の両面の研磨を行なう。従って、ワークの表面及び裏面の各位置に研磨上面2aと研磨下面4aの外周部を移動させることにより、ワーク12の全面の研磨を良好に行うことができワークの表面及び裏面の平坦度を高めることができる。また、ワークを研磨する際にワークの側壁に傷、欠けなどが生じるのを防止することができる。更に、装置を大型化させることないことから、装置の製造コストを低減させることができ、低コストの両面研磨装置により大型のワークの両面研磨を良好に行うことができる
なお、上述の実施の形態においては、下定盤2及び上定盤4を逆方向に回転駆動して、研磨上面2aと研磨下面4aによりワークの両面を同時に研磨しているが、下定盤2及び上定盤4を同方向に回転駆動して、研磨上面2aと研磨下面4aによりワークの両面を同時に研磨するようにしても良い。
なお、上述の実施の形態においては、下定盤2及び上定盤4を逆方向に回転駆動して、研磨上面2aと研磨下面4aによりワークの両面を同時に研磨しているが、下定盤2及び上定盤4を同方向に回転駆動して、研磨上面2aと研磨下面4aによりワークの両面を同時に研磨するようにしても良い。
2…下定盤、2a…研磨上面、4…上定盤、4a…研磨下面、6…装置本体下部、8…装置本体上部、10…ワークキャリア、10a…ワーク保持孔、12…ワーク、14…弾性部材、16…キャリアリング、18…回動軸、20…第1アーム、22…第2アーム、24…進退機構
Claims (4)
- 回転駆動される平坦な研磨上面を有する下定盤と、
前記下定盤に対向して配置され回転駆動される平坦な研磨下面を有する上定盤と、
前記下定盤と前記上定盤により挟持される板状のワークを保持するワーク保持孔を有するキャリアと、
前記キャリアを前記下定盤と前記上定盤との間に保持するキャリア保持部材と、
前記キャリア保持部材を前記下定盤と前記上定盤との間で揺動させる揺動機構とを備えることを特徴とする両面研磨装置。 - 前記揺動機構は、前記下定盤と前記上定盤の近傍に設けられた回動軸により支持され前記キャリア保持部材を挟持する第1アーム及び第2アームを備え、前記第1アーム及び前記第2アームを前記回動軸を中心として揺動させることにより前記キャリア保持部材を揺動させることを特徴とする請求項1記載の両面研磨装置。
- 前記キャリア保持部材を前記揺動機構による揺動方向と交差する方向に前進または後退させる進退機構を更に備えることを特徴とする請求項1または請求項2記載の両面研磨装置。
- 前記キャリアの前記ワーク保持孔は矩形形状を有し、
前記下定盤の前記研磨上面及び前記上定盤の前記研磨下面は円形形状を有し、
前記矩形形状の少なくとも一辺は、前記研磨上面及び前記研磨下面の半径よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の両面研磨装置。
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JP2005294566A JP2007098542A (ja) | 2005-10-07 | 2005-10-07 | 両面研磨装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013082073A (ja) * | 2013-02-14 | 2013-05-09 | Nikon Corp | 研磨システム |
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CN115890487A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-04-04 | 新乡市斯凯夫机械有限公司 | 一种双端面研磨机用工件自动夹紧装置 |
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- 2005-10-07 JP JP2005294566A patent/JP2007098542A/ja active Pending
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