JP2009178806A - 研磨用キャリア、及び、研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークの研磨の仕上がりのバラツキを低減し、また、研磨処理時間の低減を図ることが可能な研磨用キャリア、及び、研磨装置を提供する。
【解決手段】ワーク8を保持する保持穴13を有し、上定盤3の上研磨面(研磨布7a)と下定盤4の下研磨面(研磨布7b)との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行うキャリア2であって、少なくとも下研磨面との対向面(下面)に複数の突起部14を設けることにより、下研磨面とキャリアの下面との間に研磨材が流入可能な間隙Cを形成した。
【選択図】図3
【解決手段】ワーク8を保持する保持穴13を有し、上定盤3の上研磨面(研磨布7a)と下定盤4の下研磨面(研磨布7b)との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行うキャリア2であって、少なくとも下研磨面との対向面(下面)に複数の突起部14を設けることにより、下研磨面とキャリアの下面との間に研磨材が流入可能な間隙Cを形成した。
【選択図】図3
Description
本発明は、研磨用キャリア、及び、研磨装置に関し、特に、上研磨面と下研磨面との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行う研磨用キャリア、及び、研磨装置に関する。
例えば、シリコンウェハ、ガラス基板、金属基板等のワークの被研磨面の両面を同時に研磨するための研磨装置の代表的なものとして、遊星歯車機構を用いた研磨装置がある(例えば、特許文献1参照)。この遊星歯車機構を用いた研磨装置においては、下定盤と、下定盤の上方に設けられた上定盤と、下定盤の中心部に設けられる太陽歯車と、下定盤の外周部に回転可能に設けられる内歯歯車と、外周にギア部を有しワークを保持可能なキャリアとを備え、太陽歯車と内歯歯車とにギア部を噛合した状態で上下の定盤の間にキャリアを複数配置して挟持し、太陽歯車と内歯歯車の共働によって各キャリアを自転、公転させることで上下の定盤にそれぞれ設けられた研磨面(研磨布)とワークを摺動させて当該ワークの両面の研磨を同時に行なっている。
ところで、上記の研磨装置では、上下の研磨面とワークとの間に砥粒を含む研磨材を供給しながら研磨処理を行うことで研磨を促進するようにしていた。
しかしながら、従来のキャリアでは、上研磨面(上定盤)とキャリア上面との間には僅かに隙間が形成される一方、下研磨面(下定盤)に対してはキャリアの下面が密着することで、この下研磨面とキャリアの下面との間には隙間が殆ど形成されない。このため、研磨処理中におけるワーク下面への研磨材の回り込みがキャリアによって阻害されてしまう問題があった。これにより、ワークの上下の被研磨面で研磨の仕上がり(研磨量や平坦度)にバラツキが生じたり、研磨装置のキャリアのセット位置によっても各ワーク間で研磨の仕上がりにバラツキが生じたりする虞があった。また、研磨処理に要する時間が増大する問題があった。
しかしながら、従来のキャリアでは、上研磨面(上定盤)とキャリア上面との間には僅かに隙間が形成される一方、下研磨面(下定盤)に対してはキャリアの下面が密着することで、この下研磨面とキャリアの下面との間には隙間が殆ど形成されない。このため、研磨処理中におけるワーク下面への研磨材の回り込みがキャリアによって阻害されてしまう問題があった。これにより、ワークの上下の被研磨面で研磨の仕上がり(研磨量や平坦度)にバラツキが生じたり、研磨装置のキャリアのセット位置によっても各ワーク間で研磨の仕上がりにバラツキが生じたりする虞があった。また、研磨処理に要する時間が増大する問題があった。
本発明は、この様な事情に鑑みなされたものであり、その目的は、ワークの研磨の仕上がりのバラツキを低減し、また、研磨処理時間の低減を図ることが可能な研磨用キャリア、及び、研磨装置を提供することにある。
本発明の研磨用キャリアは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ワークを保持するワーク保持部を有し、上研磨面と下研磨面との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワーク保持部に保持されたワークの被研磨面の研磨を行う研磨用キャリアであって、
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の突起部を設けることにより、前記下研磨面と前記対向面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする。
なお、「上」及び「下」の文言は、鉛直方向の相対的な位置関係を示すものであり、対象に対して鉛直方向で相対的に下方に位置する場合を「下」とし、対象に対して鉛直方向で相対的に上方に位置する場合を「上」とする。
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の突起部を設けることにより、前記下研磨面と前記対向面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする。
なお、「上」及び「下」の文言は、鉛直方向の相対的な位置関係を示すものであり、対象に対して鉛直方向で相対的に下方に位置する場合を「下」とし、対象に対して鉛直方向で相対的に上方に位置する場合を「上」とする。
また、本発明の研磨用キャリアは、ワークを保持するワーク保持部を有し、上研磨面と下研磨面との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワーク保持部に保持されたワークの被研磨面の研磨を行う研磨用キャリアであって、
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の窪部を設けることにより、当該窪部と前記下研磨面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする。
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の窪部を設けることにより、当該窪部と前記下研磨面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする。
さらに、本発明の研磨装置は、下研磨面を有する下定盤と、
上研磨面を有する上定盤と、
上記構成の研磨用キャリアと、
を備え、
ワーク保持部にワークを保持した前記研磨用キャリアを前記上定盤と前記下定盤との間に挟持し、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行うことを特徴とする。
上研磨面を有する上定盤と、
上記構成の研磨用キャリアと、
を備え、
ワーク保持部にワークを保持した前記研磨用キャリアを前記上定盤と前記下定盤との間に挟持し、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行うことを特徴とする。
上記各構成によれば、少なくとも下研磨面との間に研磨材が流入可能な間隙を形成したので、従来において研磨材の供給が不足していたワークの下面と下研磨面との間に、間隙を通じて研磨材を積極的に供給することが可能となる。これにより、ワークの上下の面で研磨の仕上がりのバラツキや、研磨装置におけるキャリアのセット位置による各ワーク間で研磨の仕上がりのバラツキを低減することができる。また、研磨材により研磨を促進することができるので、研磨処理時間を低減することが可能となる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は本発明に係る研磨装置1の構成、特に、遊星歯車機構の構成の一例を説明する平面図、図2は研磨装置1の断面図、図3は図2における領域Aの拡大断面図である。また、図4は研磨用キャリア2(以下、単にキャリア2と略記する。)の構成を説明する平面図である。なお、図1では、上定盤3を図示していない。
本実施形態における研磨装置1は、それぞれ研磨面として機能する研磨布7a,7bが貼着された上下の定盤3,4、被研磨物としてのワーク8を保持するためのキャリア2、このキャリア2を各定盤3,4の間で自転・公転させるための太陽歯車5および内歯歯車6等を備えて概略構成されている。なお、この研磨装置1は、図示しない回転駆動源によって、上定盤3、下定盤4、太陽歯車5、内歯歯車6をそれぞれ回転駆動させる4ウェイ駆動方式を採用しているが、他の駆動方式を採用することもできる。
上下の定盤3,4は、円盤状に形成された部材であり、それぞれの研磨面を互いに向き合わせた状態で配置されている。これらの定盤3,4の中心部にはそれぞれ回転軸9a,9bが連結されている(図2)。各回転軸9a,9bには回転駆動源が接続され、この回転駆動源の駆動力により各定盤3,4が互いに反対方向に回転するようになっている。また、上定盤3には、研磨処理中におけるワーク8の被研磨面に砥粒を含む液体状又はスラリー状の研磨材を供給するための研磨材供給口10が、定盤厚さ方向を貫通した状態で設けられている。図3において矢印で示すように、研磨材供給口10は、図示しない研磨材供給源からの研磨材を、各定盤3,4の間で研磨処理中のワーク8側に供給するようになっている。また、研磨処理中において、各定盤3,4の間には、側方からも研磨材が供給される。
太陽歯車5は、下定盤4の中心部に配置された外歯歯車であり、回転駆動源の駆動力により所定方向(図1において時計回り)に回転するようになっている。内歯歯車6は、太陽歯車5に対して同心状に、尚且つ下定盤4の外側に配置されたリング状の歯車であり、回転駆動源の駆動力により太陽歯車5とは反対方向(図1において反時計回り)に回転するようになっている。
キャリア2は、外周に沿って複数の歯(外歯)12が形成された円盤状の治具である。そして、このキャリア2は、太陽歯車5と内歯歯車6との間に複数(図1の例では3枚)セットされる。各キャリア2は、外周部の歯12を各歯車5,6に噛合し、これらの歯車5,6の回転に従動して上下の定盤3,4(研磨布7a,7b)の間で遊星運動する。なお、研磨装置1において同時に配置されるキャリア2の数は、互いに干渉しないようにセットできれば特に限定されるものではなく、1枚または2枚、あるいは4枚以上とすることも可能である。
図4に示すように、キャリア2には、その中心から径方向の外側に外れた位置に複数の保持穴13が板厚方向を貫通した状態で開設されており、この保持穴13が本発明におけるワーク保持部として機能する。この保持穴13は、ワーク8の外形よりも少しだけ拡大した形状寸法の貫通穴であり、本実施形態においては、ワーク8の形状に倣って矩形の穴となっている。また、1つのキャリア2には計4つの保持穴13がそれぞれ開設されている。
また、本発明に係るキャリア2は、図3および図4に示すように、その一方の面、具体的には、研磨処理において下研磨面(研磨布7b)と対向する側の面(以下、下面)に、複数の突起部14を有していることに特徴を有している。本実施形態においては、キャリア2の下面から下研磨面に向けて突出した半球状の突起部14を、保持穴13及び歯12を除くキャリア2の下面全体に、互いに所定の間隔を空けて複数突設している。なお、キャリア2の突起部14を含む全体の厚さは、ワーク8の厚さよりも少し薄くなるように設定されている。
この突起部14を設けることにより、図3に示すように、下研磨面、即ち、下定盤4の研磨布7bとキャリア2の下面との間に間隙Cが形成される。この間隙Cは、以下で説明するように、研磨処理中における研磨材が流入可能な空部である。突起部14の下面からの突出量は、この間隙Cの大きさを規定する。本実施形態においては、ワーク8を保持したキャリア2が上下の定盤3,4により挟持された状態で、この間隙Cの大きさ(研磨布7bとキャリア2の下面との距離)が、キャリア2の上面と上研磨面(研磨布7a)との間に生じる間隙の大きさと同程度となるように、突起部14の突出寸法(高さ)が設定されている。
なお、突起部14の形状に関し、本実施形態で例示したものには限られず、円錐状等の他の形状の突起部を採用することも可能である。また、キャリア2に形成する突起部14の数や寸法に関しても、研磨処理におけるワーク8の上下面への研磨材の供給量のバランスを考慮して適宜変更することが可能である。さらに突起部14を、キャリア2の上面(即ち、研磨処理において上研磨面と対向する側の面)に設けることも可能である。
次に、上記構成の研磨装置1によるワーク8に対する研磨処理について説明する。
まず、突起部14が突設された下面側を下定盤4に向けた姿勢で、尚且つ、外周の歯12を太陽歯車5及び内歯歯車6に噛合させた状態で、各キャリア2を下定盤4にそれぞれ載置する。また、各保持穴13には、被研磨物であるワーク8を収容して保持させる。次に、下定盤4に対して上定盤3を相対的に近接させて、これらの上下の定盤3,4でキャリア2を挟み込む。即ち、キャリア2は、上研磨面(研磨布7a)と下研磨面(研磨布7b)との間に挟持された状態となる。
まず、突起部14が突設された下面側を下定盤4に向けた姿勢で、尚且つ、外周の歯12を太陽歯車5及び内歯歯車6に噛合させた状態で、各キャリア2を下定盤4にそれぞれ載置する。また、各保持穴13には、被研磨物であるワーク8を収容して保持させる。次に、下定盤4に対して上定盤3を相対的に近接させて、これらの上下の定盤3,4でキャリア2を挟み込む。即ち、キャリア2は、上研磨面(研磨布7a)と下研磨面(研磨布7b)との間に挟持された状態となる。
上記の状態で、上定盤3、下定盤4、太陽歯車5、及び内歯歯車6を、回転駆動源によりそれぞれ所定の方向に回転させる。これにより、太陽歯車5と内歯歯車6との間に噛合した各キャリア2は、太陽歯車5を中心として内歯歯車6の回転方向(図1の例では反時計回り)と同一方向に公転しつつ反時計回りに自転する。また、上下の定盤3,4の間には、研磨材供給口10等から研磨材が供給される。これにより、ワーク8と上下の研磨布7a,7bとの間に研磨材を導入しつつワーク8の両面の被研磨面が、上下の研磨布7a,7bの摺動によって研磨される。
この際、キャリア2の下面の突起部14により、研磨布7bとキャリア2の下面との間に間隙Cが形成されるので、従来において研磨材の供給が不足していたワーク8の下面と研磨布7bとの間に、間隙Cを通じて研磨材を積極的に供給することが可能となる。これにより、ワーク8の上下の面で研磨の仕上がりのバラツキや、研磨装置1におけるキャリア2のセット位置による各ワーク間で研磨の仕上がりのバラツキを低減することができる。また、研磨材により研磨を促進することができるので、研磨処理時間を低減することが可能となる。
なお、キャリア2の回転方向および回転速度等は、研磨条件に応じて、太陽歯車5と内歯歯車6の角速度の設定によって適宜変更することができる。
なお、キャリア2の回転方向および回転速度等は、研磨条件に応じて、太陽歯車5と内歯歯車6の角速度の設定によって適宜変更することができる。
次に、本発明に係るキャリア2の第2の実施形態について説明する。
図5は、キャリア2の第2の実施形態における構成を説明する平面図である。
この第2の実施形態におけるキャリア2の下面には、上記第1の実施形態における突起部14に替えて、本発明における窪部としての溝部16が複数設けられている。この溝部16は、キャリア2の下面の一部を上面側に板厚方向の途中まで窪ませることで形成されている。図5の例では、キャリア2の直径方向に伸びる4本の溝部16を、キャリア2の中心部で互いに交差するように放射状に形成している。これにより、このキャリア2を下定盤4に配置した際に、研磨布7bと溝部16との間で間隙が形成されるようになっている。そして、研磨処理においては、この間隙を通じてワーク8の下面と研磨布7bとの間に研磨材を供給することが可能となる。したがって、本実施形態の構成においても、上記第1実施形態の構成と同様な作用効果を奏する。
図5は、キャリア2の第2の実施形態における構成を説明する平面図である。
この第2の実施形態におけるキャリア2の下面には、上記第1の実施形態における突起部14に替えて、本発明における窪部としての溝部16が複数設けられている。この溝部16は、キャリア2の下面の一部を上面側に板厚方向の途中まで窪ませることで形成されている。図5の例では、キャリア2の直径方向に伸びる4本の溝部16を、キャリア2の中心部で互いに交差するように放射状に形成している。これにより、このキャリア2を下定盤4に配置した際に、研磨布7bと溝部16との間で間隙が形成されるようになっている。そして、研磨処理においては、この間隙を通じてワーク8の下面と研磨布7bとの間に研磨材を供給することが可能となる。したがって、本実施形態の構成においても、上記第1実施形態の構成と同様な作用効果を奏する。
なお、図5に示すように、溝部16の一部が保持穴13に連通するように形成することにより、この保持穴13に保持されたワーク8に研磨材をより効率良く供給することが可能となる。
また、各溝部16を放射状に形成した構成を例示したが、これには限られず、例えば、格子状に交差するように各溝部16を形成する構成を採用することも可能である。
さらに、窪部としては、図5に例示した溝部16には限られず、種々の形状の窪みを採用することができる。
また、各溝部16を放射状に形成した構成を例示したが、これには限られず、例えば、格子状に交差するように各溝部16を形成する構成を採用することも可能である。
さらに、窪部としては、図5に例示した溝部16には限られず、種々の形状の窪みを採用することができる。
そして、キャリア2には、上記各実施形態で例示した突起部と窪部の両方を形成することも可能である。要は、少なくともキャリア2の下研磨面との対向面に複数の突起部又は窪部(つまり凹凸)を形成し、これらの突起部又は窪部によりキャリア2と下研磨面との間に研磨材が流入可能な間隙が形成されれば良い。
1…研磨装置,2…キャリア,3…上定盤,4…下定盤,5…太陽歯車,6…内歯歯車,7a,7b…研磨布,8…ワーク,10…研磨材供給口,12…歯,13…保持穴,14…突起部,16…溝部
Claims (3)
- ワークを保持するワーク保持部を有し、上研磨面と下研磨面との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワーク保持部に保持されたワークの被研磨面の研磨を行う研磨用キャリアであって、
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の突起部を設けることにより、前記下研磨面と前記対向面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする研磨用キャリア。 - ワークを保持するワーク保持部を有し、上研磨面と下研磨面との間に挟持された状態で、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワーク保持部に保持されたワークの被研磨面の研磨を行う研磨用キャリアであって、
少なくとも前記下研磨面との対向面に複数の窪部を設けることにより、当該窪部と前記下研磨面との間に前記研磨材が流入可能な間隙を形成したことを特徴とする研磨用キャリア。 - 下研磨面を有する下定盤と、
上研磨面を有する上定盤と、
請求項1又は請求項2に記載の研磨用キャリアと、
を備え、
ワーク保持部にワークを保持した前記研磨用キャリアを前記上定盤と前記下定盤との間に挟持し、ワークと研磨面との間に研磨材を導入しつつ両研磨面との摺動によりワークの被研磨面の研磨を行うことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020218A JP2009178806A (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 研磨用キャリア、及び、研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=41033175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2009178806A (ja) |
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-
2008
- 2008-01-31 JP JP2008020218A patent/JP2009178806A/ja active Pending
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