JPS6096825U - 洗浄用ブラシ - Google Patents

洗浄用ブラシ

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Publication number
JPS6096825U
JPS6096825U JP18901183U JP18901183U JPS6096825U JP S6096825 U JPS6096825 U JP S6096825U JP 18901183 U JP18901183 U JP 18901183U JP 18901183 U JP18901183 U JP 18901183U JP S6096825 U JPS6096825 U JP S6096825U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning brush
support member
cleaning
scrubbing
utility
Prior art date
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Pending
Application number
JP18901183U
Other languages
English (en)
Inventor
福沢　弘文
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP18901183U priority Critical patent/JPS6096825U/ja
Publication of JPS6096825U publication Critical patent/JPS6096825U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の洗浄用ブラシを用いたウェーハ洗浄の様
子を示す説明図、第２図は従来の洗浄用ブラシを用いた
マスク洗浄の様子を示す説明図、第３図および第４図は
従来の洗浄用ブラシによる洗浄くずの付着の模様を示す
断面図、第５図および第６図は本発明にかかる洗浄用ブ
ラシの一実施例とそれを使用したウェーハ洗浄の様子を
示す説明図、第７図および第８図は本発明にかかる洗浄
用ブラシの他の実施例とそれを使用したウェーハ洗浄の
様子を示す説明図である。 １・・・回転チャック、２・・・ウェーハ、３・・・ブ
ラシ、６．１６・・・洗浄液、１１・・・マスク回転ホ
ルダ、１２・・・マスク、１３・・・ブラシ、２５．３
３・・・ナイロンくず、５０，６０・・・洗浄用ブラシ
、５１．６１・・・支持部材、５２．６２・・・回転軸
、５３．６３・・・スポンジ部材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　回転体形状の支持部材の表面に、凹凸面を有する多
    孔質弾性体で成る擦過部材を備えることを特徴とする洗
    浄用ブラシ。 ２　支持部材が擦過部材に対し洗浄液を導びく管部を有
    することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の洗浄用ブラシ。
JP18901183U 1983-12-07 1983-12-07 洗浄用ブラシ Pending JPS6096825U (ja)

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JP18901183U JPS6096825U (ja) 1983-12-07 1983-12-07 洗浄用ブラシ

Applications Claiming Priority (1)

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JP18901183U JPS6096825U (ja) 1983-12-07 1983-12-07 洗浄用ブラシ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6096825U true JPS6096825U (ja) 1985-07-02

Family

ID=30407621

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18901183U Pending JPS6096825U (ja) 1983-12-07 1983-12-07 洗浄用ブラシ

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JP (1) JPS6096825U (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61201796A (ja) * 1985-03-04 1986-09-06 Matsushita Refrig Co 伝熱管壁面の製造方法
JPS61158948U (ja) * 1985-03-23 1986-10-02
JP2011023618A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハ洗浄装置
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