JPS58114042U - シリコンウエハ−の洗浄装置 - Google Patents
シリコンウエハ−の洗浄装置Info
- Publication number
- JPS58114042U JPS58114042U JP946782U JP946782U JPS58114042U JP S58114042 U JPS58114042 U JP S58114042U JP 946782 U JP946782 U JP 946782U JP 946782 U JP946782 U JP 946782U JP S58114042 U JPS58114042 U JP S58114042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- wafer cleaning
- cleaning equipment
- nozzle
- water supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は実施例の斜視図。第２図は第一１図の矢印六方
向からみた図。 １：アーム、２：支持腕１．３：爪金具、４：給水箱、
５：棒、６：洗浄用バスケット、７：支持板、８：キャ
ーリヤ、１０：ホース、１１：ノズル。
向からみた図。 １：アーム、２：支持腕１．３：爪金具、４：給水箱、
５：棒、６：洗浄用バスケット、７：支持板、８：キャ
ーリヤ、１０：ホース、１１：ノズル。
Claims (1)
- シリコンウェハーを収納した洗浄用バスケット６を保持
して移送せしめる駆動用アーム１に設けた支持腕２に、
ノズル１１を配設した給水箱４を固定して構成されたシ
リコンウェハーの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP946782U JPS58114042U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | シリコンウエハ−の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP946782U JPS58114042U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | シリコンウエハ−の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114042U true JPS58114042U (ja) | 1983-08-04 |
| JPS645880Y2 JPS645880Y2 (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=30022103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP946782U Granted JPS58114042U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | シリコンウエハ−の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114042U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62189732A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-19 | Rohm Co Ltd | 半導体ウエハ用洗浄装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4835135A (ja) * | 1971-08-26 | 1973-05-23 |
-
1982
- 1982-01-28 JP JP946782U patent/JPS58114042U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4835135A (ja) * | 1971-08-26 | 1973-05-23 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62189732A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-19 | Rohm Co Ltd | 半導体ウエハ用洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645880Y2 (ja) | 1989-02-14 |
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