JPS6052625U - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS6052625U JPS6052625U JP14230183U JP14230183U JPS6052625U JP S6052625 U JPS6052625 U JP S6052625U JP 14230183 U JP14230183 U JP 14230183U JP 14230183 U JP14230183 U JP 14230183U JP S6052625 U JPS6052625 U JP S6052625U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- cassette
- wafer transfer
- wafer
- wafers
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のウェハ搬送装置の構成図、第２図は、
本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示す構成図で
ある。
本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示す構成図で
ある。
Claims (1)
- カセットを間欠的に昇降駆動する手段と、前記カセット
の開辰面に対応し設けられたウェハ搬送手段と、該手段
に前記カセットからウェハを押出し渡す手段と、前記カ
セットに前記ウェハ搬送手段からウェハを持上げ渡す手
段とで構成したことを特徴とするウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230183U JPS6052625U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230183U JPS6052625U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | ウェハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052625U true JPS6052625U (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=30318009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14230183U Pending JPS6052625U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052625U (ja) |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP14230183U patent/JPS6052625U/ja active Pending
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