JPS6052625U - ウェハ搬送装置 - Google Patents

ウェハ搬送装置

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Publication number
JPS6052625U
JPS6052625U JP14230183U JP14230183U JPS6052625U JP S6052625 U JPS6052625 U JP S6052625U JP 14230183 U JP14230183 U JP 14230183U JP 14230183 U JP14230183 U JP 14230183U JP S6052625 U JPS6052625 U JP S6052625U
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JP
Japan
Prior art keywords
transfer device
cassette
wafer transfer
wafer
wafers
Prior art date
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Pending
Application number
JP14230183U
Other languages
English (en)
Inventor
豊 金子
恒彦 坪根
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP14230183U priority Critical patent/JPS6052625U/ja
Publication of JPS6052625U publication Critical patent/JPS6052625U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のウェハ搬送装置の構成図、第２図は、
本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示す構成図で
ある。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カセットを間欠的に昇降駆動する手段と、前記カセット
    の開辰面に対応し設けられたウェハ搬送手段と、該手段
    に前記カセットからウェハを押出し渡す手段と、前記カ
    セットに前記ウェハ搬送手段からウェハを持上げ渡す手
    段とで構成したことを特徴とするウェハ搬送装置。
JP14230183U 1983-09-16 1983-09-16 ウェハ搬送装置 Pending JPS6052625U (ja)

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JP14230183U JPS6052625U (ja) 1983-09-16 1983-09-16 ウェハ搬送装置

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JP14230183U JPS6052625U (ja) 1983-09-16 1983-09-16 ウェハ搬送装置

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JPS6052625U true JPS6052625U (ja) 1985-04-13

Family

ID=30318009

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14230183U Pending JPS6052625U (ja) 1983-09-16 1983-09-16 ウェハ搬送装置

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