JPS5948052U - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents
ウエ−ハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS5948052U JPS5948052U JP14266582U JP14266582U JPS5948052U JP S5948052 U JPS5948052 U JP S5948052U JP 14266582 U JP14266582 U JP 14266582U JP 14266582 U JP14266582 U JP 14266582U JP S5948052 U JPS5948052 U JP S5948052U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- wafer transfer
- wafer
- resistant
- corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は、本考案によるウェーハ搬送装置の一実施例を示
す平面図である。 １０ａ、１０ｂ・・・・・・スクリュー軸、１１−−−
−−−ウェーハガイド、２０・・・・・・ウェーハ。
す平面図である。 １０ａ、１０ｂ・・・・・・スクリュー軸、１１−−−
−−−ウェーハガイド、２０・・・・・・ウェーハ。
Claims (1)
- 耐熱、耐食性材料で形成されウェーハを搬送するスクリ
ュー軸と、耐熱、耐食性材料で形成されウェーハの搬送
をガイドするウェーハガイドとで構成したことを特徴と
するウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14266582U JPS5948052U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14266582U JPS5948052U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948052U true JPS5948052U (ja) | 1984-03-30 |
Family
ID=30318701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14266582U Pending JPS5948052U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948052U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4932270A (ja) * | 1972-07-25 | 1974-03-23 |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP14266582U patent/JPS5948052U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4932270A (ja) * | 1972-07-25 | 1974-03-23 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
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