JPS59180424U - 半導体基板用治具 - Google Patents

半導体基板用治具

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Publication number
JPS59180424U
JPS59180424U JP7549583U JP7549583U JPS59180424U JP S59180424 U JPS59180424 U JP S59180424U JP 7549583 U JP7549583 U JP 7549583U JP 7549583 U JP7549583 U JP 7549583U JP S59180424 U JPS59180424 U JP S59180424U
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JP
Japan
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semiconductor substrate
jig
abstract
size
larger
Prior art date
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Pending
Application number
JP7549583U
Other languages
English (en)
Inventor
縣　良夫
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP7549583U priority Critical patent/JPS59180424U/ja
Publication of JPS59180424U publication Critical patent/JPS59180424U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図と第２図は、従来のピンセットの斜視図、第３図
は本考案の一実施例によるピンセットの斜視図を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置の製造工程で用いる半導体基板取り扱い治具
    において、治具先端の一面が半導体基板・の大きさの少
    なくとも１以上あることを特徴とする半導体基板用治具
    。
JP7549583U 1983-05-20 1983-05-20 半導体基板用治具 Pending JPS59180424U (ja)

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JP7549583U JPS59180424U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 半導体基板用治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7549583U JPS59180424U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 半導体基板用治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59180424U true JPS59180424U (ja) 1984-12-01

Family

ID=30205561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7549583U Pending JPS59180424U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 半導体基板用治具

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JP (1) JPS59180424U (ja)

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