JPS60124032U - 半導体ウエハ処理用縦型炉 - Google Patents
半導体ウエハ処理用縦型炉Info
- Publication number
- JPS60124032U JPS60124032U JP1084184U JP1084184U JPS60124032U JP S60124032 U JPS60124032 U JP S60124032U JP 1084184 U JP1084184 U JP 1084184U JP 1084184 U JP1084184 U JP 1084184U JP S60124032 U JPS60124032 U JP S60124032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical furnace
- semiconductor wafer
- wafer processing
- furnace
- vertical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る縦型炉の一例を示す断面図、第２
図は本考案の炉体構成実施例としての斜 ′親図で
ある。 図中、１は石英反応管、２は加熱体、５は縦型炉体、６
は炉体５の分割線、７は底板、及び８は排気管である。
図は本考案の炉体構成実施例としての斜 ′親図で
ある。 図中、１は石英反応管、２は加熱体、５は縦型炉体、６
は炉体５の分割線、７は底板、及び８は排気管である。
Claims (1)
- 周辺に加熱体を具える反応管収納になる縦型炉の構成に
於いて、縦型炉は複数分割の構成とされ且つ該炉の底面
部にゴミ吸引用の排気管を具えることを特徴とする半導
体ウェハ処理用縦型炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1084184U JPS60124032U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体ウエハ処理用縦型炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1084184U JPS60124032U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体ウエハ処理用縦型炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124032U true JPS60124032U (ja) | 1985-08-21 |
| JPH0438516Y2 JPH0438516Y2 (ja) | 1992-09-09 |
Family
ID=30492393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1084184U Granted JPS60124032U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体ウエハ処理用縦型炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124032U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841656A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄板連続鋳造装置 |
| JPS58116487U (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-09 | 本田技研工業株式会社 | 自動二輪車用シ−ト |
-
1984
- 1984-01-27 JP JP1084184U patent/JPS60124032U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841656A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄板連続鋳造装置 |
| JPS58116487U (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-09 | 本田技研工業株式会社 | 自動二輪車用シ−ト |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438516Y2 (ja) | 1992-09-09 |
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