JPS5844163U - サンドブラスト用タ−ンテ−ブル - Google Patents

サンドブラスト用タ−ンテ−ブル

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Publication number
JPS5844163U
JPS5844163U JP13998681U JP13998681U JPS5844163U JP S5844163 U JPS5844163 U JP S5844163U JP 13998681 U JP13998681 U JP 13998681U JP 13998681 U JP13998681 U JP 13998681U JP S5844163 U JPS5844163 U JP S5844163U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sandblasting
turntable
wafer
recorded
electronic filing
Prior art date
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Pending
Application number
JP13998681U
Other languages
English (en)
Inventor
金澤　昭平
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
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Publication of JPS5844163U publication Critical patent/JPS5844163U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術によるＳｉウェハーとサンドブラスト
用ターンテーブルの関係を示す断面図である。第２図は
、本考案の実施例のＳｉウェハーとサンドブラスト用タ
ーンテーブルの関係を示す断面図である。　−□ 尚、図において、１・・・Ｓｉウェハー、２．４・・・
サンドブラスト用ターンテーブル、３・・・ピアノ線製
バネ、５・・・Ｓｉウェハー横ズレ防止用ツメ、６・・
・サンドブラストの方向である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコンウェハーをサンドブラストするサンドブラスト
    用ターンテーブルにおいて、該ウェハーを固定すること
    なくサンドブラストを可能せしめ−ることを特徴とする
    サンドブラスト用ターンテーブル。
JP13998681U 1981-09-21 1981-09-21 サンドブラスト用タ−ンテ−ブル Pending JPS5844163U (ja)

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JP13998681U JPS5844163U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 サンドブラスト用タ−ンテ−ブル

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JPS5844163U true JPS5844163U (ja) 1983-03-24

Family

ID=29933161

Family Applications (1)

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JP13998681U Pending JPS5844163U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 サンドブラスト用タ−ンテ−ブル

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