JPS6016535U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS6016535U JPS6016535U JP10780683U JP10780683U JPS6016535U JP S6016535 U JPS6016535 U JP S6016535U JP 10780683 U JP10780683 U JP 10780683U JP 10780683 U JP10780683 U JP 10780683U JP S6016535 U JPS6016535 U JP S6016535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- equipment
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置を示す概略的断面図である。
第２図ないし第４図は本考案の一実施例を示し、第２図
は概略的断面図、第３図、第４図はウェハ保持台を示す
斜視図である。 ３・・・・・・反応炉、４・・・・・・半導体ウェハ、
５・・曲ウェハ保持台。
は概略的断面図、第３図、第４図はウェハ保持台を示す
斜視図である。 ３・・・・・・反応炉、４・・・・・・半導体ウェハ、
５・・曲ウェハ保持台。
Claims (1)
- 半導体ウェハの平面と、反応ガスの流入部における流線
とのなす角度ｄが、６０°以下である気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10780683U JPS6016535U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10780683U JPS6016535U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016535U true JPS6016535U (ja) | 1985-02-04 |
Family
ID=30251759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10780683U Pending JPS6016535U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016535U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016027636A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-02-18 | 株式会社Flosfia | サセプタ |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP10780683U patent/JPS6016535U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016027636A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-02-18 | 株式会社Flosfia | サセプタ |
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