JPS5926238U - Ｃｖｄ装置 - Google Patents
Ｃｖｄ装置Info
- Publication number
- JPS5926238U JPS5926238U JP12151882U JP12151882U JPS5926238U JP S5926238 U JPS5926238 U JP S5926238U JP 12151882 U JP12151882 U JP 12151882U JP 12151882 U JP12151882 U JP 12151882U JP S5926238 U JPS5926238 U JP S5926238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- cvd equipment
- furnace
- cvd apparatus
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の炉芯管タイプのＣＶＤ装置を示す図であ
り、第２図は本考案の実施例のＣＶＤ装置を示す図であ
る。 尚、図において、１・・曲炉芯管、２・・曲ヒータ、。 ＋、ａ、 ６・・・・・・ガス導入口、４・・・・・
・ウェハーポート、５・・・・・・ウェーハー、７・・
曲２重炉芯管である。
り、第２図は本考案の実施例のＣＶＤ装置を示す図であ
る。 尚、図において、１・・曲炉芯管、２・・曲ヒータ、。 ＋、ａ、 ６・・・・・・ガス導入口、４・・・・・
・ウェハーポート、５・・・・・・ウェーハー、７・・
曲２重炉芯管である。
Claims (1)
- 炉芯管タイプのＣＶＤ装置において、内面に多数の穴を
有した２重炉芯管と、その炉芯管の外管と内管にそれぞ
れのガスを導入するようにしたことを特徴とするＣＶＤ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12151882U JPS5926238U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | Ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12151882U JPS5926238U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | Ｃｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5926238U true JPS5926238U (ja) | 1984-02-18 |
Family
ID=30278091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12151882U Pending JPS5926238U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | Ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5926238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138473A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
-
1982
- 1982-08-10 JP JP12151882U patent/JPS5926238U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138473A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
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