JPS5937728U - Ｃｖｄ装置 - Google Patents
Ｃｖｄ装置Info
- Publication number
- JPS5937728U JPS5937728U JP13190382U JP13190382U JPS5937728U JP S5937728 U JPS5937728 U JP S5937728U JP 13190382 U JP13190382 U JP 13190382U JP 13190382 U JP13190382 U JP 13190382U JP S5937728 U JPS5937728 U JP S5937728U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cvd equipment
- vicinity
- reaction tube
- inlet
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の減圧ＣＶＤ装置を示す構成図、第２図は
本考案の一実施例である減圧ＣＶＤ装置を示す構成図で
ある。図において１１は反応管、１２は排気口、１３は
ガス導入口、１４はエンドキャップ、１５はヒータ、１
６は基板、１７はサセプタ、１８はガラス部材を示す。
本考案の一実施例である減圧ＣＶＤ装置を示す構成図で
ある。図において１１は反応管、１２は排気口、１３は
ガス導入口、１４はエンドキャップ、１５はヒータ、１
６は基板、１７はサセプタ、１８はガラス部材を示す。
Claims (1)
- 反応管内の反応ガス導入口近傍に円筒形部材を設け、該
反応管内の該導入口付近のガス流路が狭くなる様にした
ことを特徴とするＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13190382U JPS5937728U (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | Ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13190382U JPS5937728U (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | Ｃｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5937728U true JPS5937728U (ja) | 1984-03-09 |
Family
ID=30298053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13190382U Pending JPS5937728U (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | Ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5937728U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53146276A (en) * | 1977-05-26 | 1978-12-20 | Kokusai Electric Co Ltd | Reduced pressure gas phase growth |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP13190382U patent/JPS5937728U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53146276A (en) * | 1977-05-26 | 1978-12-20 | Kokusai Electric Co Ltd | Reduced pressure gas phase growth |
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