JPS58167450U - 高周波プラズマ分析装置 - Google Patents
高周波プラズマ分析装置Info
- Publication number
- JPS58167450U JPS58167450U JP6439782U JP6439782U JPS58167450U JP S58167450 U JPS58167450 U JP S58167450U JP 6439782 U JP6439782 U JP 6439782U JP 6439782 U JP6439782 U JP 6439782U JP S58167450 U JPS58167450 U JP S58167450U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier gas
- mass flow
- frequency plasma
- flow controller
- plasma analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来技術の構成図、第２図は本考案の一実施例
の構成図である。 ’ ＮＢ−・・・・・ネプライザ、ＣＲＧ・・・キャ
リヤガス流入口、ＴＣ・・・ｔＩ温槽、ＭＣ１・・・第
１マスフロコントロ 一う、ＣＬ・・・コイル状キャリ
ヤガス通過管。
の構成図である。 ’ ＮＢ−・・・・・ネプライザ、ＣＲＧ・・・キャ
リヤガス流入口、ＴＣ・・・ｔＩ温槽、ＭＣ１・・・第
１マスフロコントロ 一う、ＣＬ・・・コイル状キャリ
ヤガス通過管。
Claims (1)
- 溶液試料をキャリヤガスの負圧により霧化するネプライ
ザと、ネプライザのキャリヤガス流入口にキャリヤガス
を定常的に流すようにキャリヤガス流量を制御するマス
フロコントローラとを有する高周波プラズマ分析装置に
おいて、前記マスフロコントローラの雰囲気温度を一定
に保つ恒温槽内に、少なくとも前記マスフロコントロー
ラを設け、前記恒温槽内においてそのマスフロコントロ
ーラに接続されたキャリヤガス通過管をコイル状に配管
してなることを特徴とする高周波プラズマ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6439782U JPS58167450U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 高周波プラズマ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6439782U JPS58167450U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 高周波プラズマ分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58167450U true JPS58167450U (ja) | 1983-11-08 |
| JPS6317001Y2 JPS6317001Y2 (ja) | 1988-05-13 |
Family
ID=30074427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6439782U Granted JPS58167450U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | 高周波プラズマ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58167450U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140950U (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | ||
| JP2007114063A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Horiba Ltd | ネブライザ及び試料液霧化装置 |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP6439782U patent/JPS58167450U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140950U (ja) * | 1985-02-22 | 1986-09-01 | ||
| JP2007114063A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Horiba Ltd | ネブライザ及び試料液霧化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317001Y2 (ja) | 1988-05-13 |
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