JPS58193630U - Ｃｖｄ装置 - Google Patents
Ｃｖｄ装置Info
- Publication number
- JPS58193630U JPS58193630U JP9198582U JP9198582U JPS58193630U JP S58193630 U JPS58193630 U JP S58193630U JP 9198582 U JP9198582 U JP 9198582U JP 9198582 U JP9198582 U JP 9198582U JP S58193630 U JPS58193630 U JP S58193630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat block
- reaction
- reaction tube
- reaction gas
- cvd apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の減圧ＣＶＤ装置のブロック図、第２図
は、本考案減圧ＣＶＤ装置のブロック図、第３図、第４
図はヒートブロックの斜視図である。 ５・・・反応管、６・・・ウェハ、８・・・予熱領域、
９・・・ヒートブロック、１０・・・通路、１１・・・
予備加熱機構。
は、本考案減圧ＣＶＤ装置のブロック図、第３図、第４
図はヒートブロックの斜視図である。 ５・・・反応管、６・・・ウェハ、８・・・予熱領域、
９・・・ヒートブロック、１０・・・通路、１１・・・
予備加熱機構。
Claims (1)
- 反応管内に反応ガスを供給してこの反応管内に設定され
たウェハ上に気相成長膜を形成するＣＶＤ装置において
、反応管内のウェハ載置部上流に、反応ガスの流れをさ
えぎる状態で配備され、反応ガスが流れる多数の通路が
形成されたヒートブロックと、反応管外からこのヒート
ブロックを加熱する予備加熱機構とを備え、この予備加
熱機構で上記ヒートブロックを加熱することにより、ヒ
ートブロックの通路を流れる反応ガスを均一に加熱する
ことを特徴としたＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9198582U JPS58193630U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | Ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9198582U JPS58193630U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | Ｃｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58193630U true JPS58193630U (ja) | 1983-12-23 |
Family
ID=30100203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9198582U Pending JPS58193630U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | Ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58193630U (ja) |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP9198582U patent/JPS58193630U/ja active Pending
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