JPS59119031U - 拡散装置 - Google Patents

拡散装置

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Publication number
JPS59119031U
JPS59119031U JP1302983U JP1302983U JPS59119031U JP S59119031 U JPS59119031 U JP S59119031U JP 1302983 U JP1302983 U JP 1302983U JP 1302983 U JP1302983 U JP 1302983U JP S59119031 U JPS59119031 U JP S59119031U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffusion device
quartz
tube
end cap
recorded
Prior art date
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Pending
Application number
JP1302983U
Other languages
English (en)
Inventor
健太郎 久原
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の拡散装置の断面図である。第２図は、
本考案による拡散装置の断面図である。 １・・・ヒータ、２・・・石英チューブ、３・・・ボー
ト、４・・・ウェハ、５・・・石英チューブ入口、６・
・・石英≠ユーブ出口、７・・・延長石英管、８．１０
・・・スリ合せ、９・・・排気管、１１・・・エンドキ
ャップ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 石英炉心管と排気管を有する石英管とエンドキャップか
    らなり、前記石英炉心管と石英管およびエンドキャップ
    がすり合せにより接続されていることを特徴とする拡散
    装置。 、−
JP1302983U 1983-02-01 1983-02-01 拡散装置 Pending JPS59119031U (ja)

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JP1302983U JPS59119031U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 拡散装置

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JP1302983U JPS59119031U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 拡散装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59119031U true JPS59119031U (ja) 1984-08-11

Family

ID=30144423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1302983U Pending JPS59119031U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 拡散装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59119031U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63140620U (ja) * 1987-03-05 1988-09-16

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63140620U (ja) * 1987-03-05 1988-09-16

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