JPS6186471U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6186471U JPS6186471U JP17015684U JP17015684U JPS6186471U JP S6186471 U JPS6186471 U JP S6186471U JP 17015684 U JP17015684 U JP 17015684U JP 17015684 U JP17015684 U JP 17015684U JP S6186471 U JPS6186471 U JP S6186471U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace tube
- heater
- utility
- scope
- registration request
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は従来の炉芯管タイプのＣＶＤ装置を示
す図である。第２図および第３図はそれぞれ本考
案の実施例のＣＶＤ装置を示す図である。 尚、図において、１……炉芯管、２……ヒータ
ー、３……ガス導入口、４……ウエハーボート、
５……半導体ウエハー、６……排気管、７……Ｕ
Ｖランプである。
す図である。第２図および第３図はそれぞれ本考
案の実施例のＣＶＤ装置を示す図である。 尚、図において、１……炉芯管、２……ヒータ
ー、３……ガス導入口、４……ウエハーボート、
５……半導体ウエハー、６……排気管、７……Ｕ
Ｖランプである。
Claims (1)
- ヒーターと紫外線ランプとを炉芯管の外側に設
けたことを特徴とする炉芯管タイプのＣＶＤ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17015684U JPS6186471U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17015684U JPS6186471U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186471U true JPS6186471U (ja) | 1986-06-06 |
Family
ID=30727864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17015684U Pending JPS6186471U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186471U (ja) |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP17015684U patent/JPS6186471U/ja active Pending