JPS60113369U - 真空容器へのガス急速供給装置 - Google Patents

真空容器へのガス急速供給装置

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JPS60113369U
JPS60113369U JP55584U JP55584U JPS60113369U JP S60113369 U JPS60113369 U JP S60113369U JP 55584 U JP55584 U JP 55584U JP 55584 U JP55584 U JP 55584U JP S60113369 U JPS60113369 U JP S60113369U
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JP
Japan
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gas supply
vacuum container
supply device
gas
rapid gas
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Application number
JP55584U
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English (en)
Inventor
角田　良二
誠 小沢
Original Assignee
株式会社日立国際電気
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空容器に対するガス供給の系統図、第
２図は本考案を実施したガス急速供給装置の系統図、第
３図は第２図中の緩衝器の構造図である。 １・・・真空気密容器、２・・・ガス供給源、３・・・
ガス供給管、４・・・ガス流量制御弁、５・・・ガス吹
出口、６・・・排出弁、７・・・緩衝器（バッファ）、
８・・・ガス導入管、９・・・フランジ、１０・・・バ
ッファの円筒部分、１１・・・ガス流。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ガス供給源とガス流量制御弁と、それらを連結しかつ該
    ガス流量制御弁より真空容器内に達するガス供給管のほ
    かに、該ガス供給管の先端に取付けられ、真空容器内の
    ガス吹出口となる多孔性焼結金属製の緩衝器を備えたこ
    とを特徴とする、真空容器へのガス急速供給装置。
JP55584U 1984-01-09 1984-01-09 真空容器へのガス急速供給装置 Pending JPS60113369U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6320463A (ja) * 1986-07-14 1988-01-28 Hitachi Ltd 減圧処理装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4831108A (ja) * 1971-08-27 1973-04-24
JPS4829046B1 (ja) * 1969-02-24 1973-09-06

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4829046B1 (ja) * 1969-02-24 1973-09-06
JPS4831108A (ja) * 1971-08-27 1973-04-24

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6320463A (ja) * 1986-07-14 1988-01-28 Hitachi Ltd 減圧処理装置

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