JP2007114063A - ネブライザ及び試料液霧化装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】霧状試料の大径化及び水滴化を抑制し、安定性及び信頼性を有して、効率良く定性分析や定量分析を行い得るネブライザ及び試料液霧化装置を提供する。
【解決手段】ネブライザ3の試料液ノズル31の外周側には、試料液ノズル31と同心に、キャリアガスノズル32が設けられている。さらに、キャリアガスノズル32の外周側には、キャリアガスノズル32と同心に、通ガス管34が設けられている。通ガス管34はホウ珪酸ガラス製であり、通ガス管34の先端部は、試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部よりも突出している。通ガス管34の後端部には、アルゴンガス供給管35が立設されており、アルゴンガスが通流される。
【選択図】図1
【解決手段】ネブライザ3の試料液ノズル31の外周側には、試料液ノズル31と同心に、キャリアガスノズル32が設けられている。さらに、キャリアガスノズル32の外周側には、キャリアガスノズル32と同心に、通ガス管34が設けられている。通ガス管34はホウ珪酸ガラス製であり、通ガス管34の先端部は、試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部よりも突出している。通ガス管34の後端部には、アルゴンガス供給管35が立設されており、アルゴンガスが通流される。
【選択図】図1
Description
本発明は、高周波誘導結合プラズマ・質量分析装置(以下、ICP−MSという)、高周波誘導結合プラズマ・発光分光分析装置(ICP−AES)等の分析装置に用いられるネブライザ及び試料液霧化装置に関する。
図6は、従来の試料液霧化装置を示す断面図である。試料液霧化装置のガラス製で丸底を有する円筒状のスプレーチャンバ21の先端部は、エンドキャップ22により封止されており、エンドキャップ22には、ネブライザ23の先端部が貫通されている。スプレーチャンバ23の内側には、円筒状の隔壁筒26が設けられている。アルゴンガスにより霧化された試料がネブライザ23の噴出孔からスプレーチャンバ21に噴出され、細かい霧となって、スプレーチャンバ21の上部略中央部に設けられた移送管24から図示しないプラズマトーチへ送られる。プラズマトーチで高周波誘導プラズマの作用によりイオン化された試料は、ICP−MSの場合、質量分析装置へ送られる。ICP−AESの場合は励起され、光として発光分光分析装置で検出され、定性分析や定量分析が行われる。大きな霧となった試料液は、スプレーチャンバ21の底部に設けられた排出管25より外部へ排出される。
しかしながら、図6の従来の試料液霧化装置においては、ネブライザ23により霧化された試料がエンドキャップ22の内側表面及びネブライザ23の外周面に付着して経時的に大径の水滴となるという問題がある。この水滴は、次々に交換される試料によって徐々に形成されるので、汚染源となるだけでなく、ある程度、大きくなった場合に落下して、ネブライザ23に振動を与えたり、スプレーチャンバ21内の気圧を変化させ、最終的に分析装置の検出信号が揺らぐ原因になるという問題がある。又、ネブライザ23の先端部で成長した水滴が試料液の噴出流とともに、再霧化され、一時的に径が大きい液滴がスプレーチャンバ21内に生じると、最終的な検出信号にノイズが生じ、誤差が生じて、分析の安定性及び信頼性が損なわれるという問題もある。
さらに、試料の測定中にこの水滴を除去するのは困難であり、必要に応じて、ICP−MS又はICP−AESを停止して該当部分を洗浄し、再度、ICP−MS又はICP−AESを起動し、安定化させて、検量線の作成から始めなければならず、煩雑であり、効率が悪くなるという問題がある。
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、霧化試料の大径化及び水滴化を抑制し、安定性及び信頼性を有して、効率良く定性分析や定量分析を行い得るネブライザ及び試料液霧化装置を提供することを目的とする。
第1発明のネブライザは、試料液を噴出させる試料液ノズルと、該試料液ノズルの外周側に配設され、キャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルとを備えるネブライザにおいて、前記キャリアガスノズルの外周側に、ガスを通流させる通ガス管をさらに備えることを特徴とする。
本発明においては、ネブライザを試料液霧化装置のスプレーチャンバに設けて試料を霧化させるときに、ネブライザ先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管を通流されるガスによってスプレーチャンバの底部側へ強制的に排出されるので、前記霧が霧化試料に吸着して大径化したり、ネブライザ側に逆流してネブライザ、通ガス管等に水滴が付着することがない。また、通ガス管内のガス流によりキャリアガスノズルの外周面はドライな状態を保持することになり、キャリアガスは通ガス管と直接接触しないので、通ガス管の内側に水滴が形成されにくい。従って、このネブライザを備える試料液霧化装置を用いることにより、霧化試料の大径化及び水滴化が抑制され、検出信号にノイズが生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、効率的に定性分析や定量分析を行うことが出来る。
第2発明のネブライザは、前記通ガス管の先端部を突出させてあることを特徴とする。
本発明においては、この突出された先端部の内側が、試料液ノズルからの試料液の噴出及びキャリアガスノズルからのキャリアガスの噴出により減圧になり、通ガス管内を通流されるガスが流れやすくなる。
第3発明のネブライザは、前記通ガス管が先細であることを特徴とする。
本発明においては、霧化試料の拡散範囲が狭くなり、通ガス管内への霧の拡散も防止され、通ガス管内における水滴の発生が抑制される。そして、水滴の発生抑制効果が良好であるので通ガス管の通ガス量が少なくてすむ。
第4発明の試料液霧化装置は、試料液を噴出させる試料液ノズルと、該試料液ノズルの外周側に配設され、キャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルとを有するネブライザと、その一端部に設けた蓋部に前記ネブライザの先端部が貫通されており、該ネブライザから噴出される、霧化された試料を径の大きさで分別するスプレーチャンバとを備える試料液霧化装置において、前記ネブライザは第1発明乃至第3発明のいずれかに記載のネブライザであることを特徴とする。
本発明においては、通ガス管内のガス流によりキャリアガスノズルの外周面はドライな状態を保持することになり、通ガス管の内側に水滴が形成されにくい。また、仮に、試料を霧化させるときに、ネブライザ先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管を通流されるガスによってスプレーチャンバの底部側へ強制的に排出されるので、前記霧が霧化試料に吸着して大径化したり、ネブライザ側に逆流してネブライザ等に水滴が付着することがない。従って、この試料液霧化装置を用いることにより、霧化試料の大径化及び水滴化が抑制され、検出信号にノイズが生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、効率良く定性分析や定量分析を行うことが出来る。
第5発明の試料液霧化装置は、試料液を噴出させる試料液ノズル、及びキャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルを有するネブライザの先端部を、スプレーチャンバの一端部に設けた蓋部に貫通させてスプレーチャンバに挿入する試料液霧化装置において、前記スプレーチャンバに挿入されるネブライザの外周部分を包囲し、その内周側にガスを通流させる通ガス管を、前記蓋部に備えることを特徴とする。
本発明においては、通ガス管内のガス流によりキャリアガスノズルの外周面はドライな状態を保持することになり、通ガス管の内側に水滴が形成されにくい。また、仮に、試料を霧化させるときに、ネブライザ先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管を通流されるガスによってスプレーチャンバの底部側へ強制的に排出されるので、前記霧が霧化試料に吸着して大径化したり、ネブライザ側に逆流してネブライザ等に水滴が付着することがない。従って、この試料液霧化装置を用いることにより、霧化試料の大径化及び水滴化が抑制され、検出信号にノイズが生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、効率的に定性分析や定量分析を行うことが出来る。
本発明によれば、通ガス管内のガス流によりキャリアガスノズルの外周面はドライな状態を保持することになり、通ガス管の内側に水滴が形成されにくい。また、仮に、試料を霧化させるときに、ネブライザ先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管を通流されるガスによってスプレーチャンバの底部側へ強制的に排出されるので、前記霧が霧化試料に吸着して大径化したり、ネブライザ側に逆流してネブライザ、通ガス管、エンドキャップ等に水滴が付着することがない。従って、このネブライザを備える試料液霧化装置を用いることにより、霧化試料の大径化及び水滴化が抑制され、検出信号にノイズが生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、効率的に定性分析や定量分析を行うことが出来る。
以下に、本発明をその実施形態を示す図面に基づいて、具体的に説明する。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る試料液霧化装置10を示す斜視図である。試料液霧化装置10のガラス製で丸底を有する円筒状のスプレーチャンバ1の先端部は、フッ素樹脂製のエンドキャップ2により封止されており、エンドキャップ2には、開口部をスプレーチャンバ1の底部に向けた状態で、ネブライザ3の先端部が貫通されている。スプレーチャンバ1の略中央部には、霧化した試料を図示しないプラズマトーチへ移送するための移送管4が設けられており、スプレーチャンバ1の底部の下側には、大径の霧化試料を排出させるための排出管5が設けられている。スプレーチャンバ1の内側には、円筒状の隔壁筒6が設けられている。
図1は、本発明の実施の形態1に係る試料液霧化装置10を示す斜視図である。試料液霧化装置10のガラス製で丸底を有する円筒状のスプレーチャンバ1の先端部は、フッ素樹脂製のエンドキャップ2により封止されており、エンドキャップ2には、開口部をスプレーチャンバ1の底部に向けた状態で、ネブライザ3の先端部が貫通されている。スプレーチャンバ1の略中央部には、霧化した試料を図示しないプラズマトーチへ移送するための移送管4が設けられており、スプレーチャンバ1の底部の下側には、大径の霧化試料を排出させるための排出管5が設けられている。スプレーチャンバ1の内側には、円筒状の隔壁筒6が設けられている。
図2は、ネブライザ3を示す拡大断面図であり、図3は、図1のネブライザのIII-III線断面図である。このネブライザ3において、試料液を噴出させる試料液ノズル31の外周側には、試料液ノズル31と同心に、キャリアガスとしてのアルゴンガスを噴出させるキャリアガスノズル32が設けられている。キャリアガスノズル32の後端部の下側にはアルゴンガスが供給されるアルゴンガス供給管33が設けられている。試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32はガラス製であり、先細に形成されている。
キャリアガスノズル32の外周側には、キャリアガスノズル32と同心に、開口部をスプレーチャンバ1の底部に向けて、円筒状の通ガス管34が設けられている。通ガス管34はホウ珪酸ガラス製であり、通ガス管34の直径は、キャリアガスノズル32の直径より数mm(2〜3mm)大きい。通ガス管34の後端部には、通ガス管34とL字をなすようにアルゴンガス供給管35が立設されており、通ガス管34内にアルゴンガスが通流されるように構成されている。通ガス管34の後端部のアルゴンガス供給管35が立設されている側と反対側においては、キャリアガスノズル32から垂下したアルゴンガス供給管33が貫通している。また、通ガス管34の後端面は丸底状をなし、試料液ノズル31の後端部が貫通している。そして、通ガス管34の先端部は、試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部よりも突出している。
この試料液霧化装置10においては、試料液ノズル31から試料液が噴出され、キャリアガスノズル32からアルゴンガスが噴出され、試料液が霧化されて、細かい霧となって移送管4から図示しないプラズマトーチへ送られる。プラズマトーチで高周波誘導プラズマの作用により励起されてイオン化された試料は、ICP−MSの場合、質量分析装置へ送られ、ICP−AESの場合、発光した光を発光分光分析装置で計測し、定性分析や定量分析が行われる。霧化されなかった試料液は、排出管5より外部へ排出される。
本実施形態においては、試料を霧化させるときに、ネブライザ3の先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管34を通流されるアルゴンガスによってスプレーチャンバ1の底部側に強制的に排出される。よって、前記霧が霧化試料に吸着して大径化したり、ネブライザ3及びエンドキャップ2側に逆流して、ネブライザ3、通ガス管34及びエンドキャップ2の表面に付着して水滴に成長することがない。また、通ガス管34を通流されるアルゴンガスによりキャリアガスノズル32の外周面がドライな状態を保持し、キャリアガスノズル32を通流されるアルゴンガスは通ガス管34に直接接触しないので、通ガス管34の内側で水滴が形成されにくい。通ガス管34の先端部は、試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部より突出しているので、この先端部の内側が、試料液ノズル31からの試料液の噴出及びキャリアガスノズル32からのアルゴンガスの噴出により減圧になり、通ガス管34内を通流されるアルゴンガスが流れやすくなっている。
従って、このネブライザ3を備える試料液霧化装置10をICP−MSやICP−AESに用いることにより、検出信号にノイズが生じて誤差が生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、定性分析や定量分析を行うことが出来る。また、水滴を除去洗浄するために分析を中断することがなく、効率良く分析を行うことが出来る。
なお、前記実施形態においては、スプレーチャンバ1として、円筒型のスコットチャンバに適用した場合につき説明しているがこれに限定されるものではなく、サイクロンチャンバ等、他の型のスプレーチャンバでもよい。また、スプレーチャンバ1の材質もガラス製に限定されず、テフロン(登録商標)(フッ素樹脂)等の樹脂製でもよい。通ガス管34の材質もホウ珪酸ガラス製に限定されず、通ガス管34に通されるガスもアルゴンガスに限定されず、他の希ガスでもよい。
また、通ガス管34の先端部を試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部よりも突出させた場合につき説明しているがこれに限定されるものではなく、先端部を揃えてもよい。但し、通ガス管34の先端部を突出させた方が、上述したように、先端部の内側が減圧になって、アルゴンガスが流れやすくなるので、好ましい。
実施の形態2.
図4は、本発明の他の実施形態に係るネブライザ3を示す断面図である。図中、実施の形態1の図2のネブライザ3と同一部分は同一符号を付してある。
図4は、本発明の他の実施形態に係るネブライザ3を示す断面図である。図中、実施の形態1の図2のネブライザ3と同一部分は同一符号を付してある。
本実施形態においては、通ガス管36は、キャリアガスノズル32の先端部の傾斜角度と同程度の傾斜角度を有した状態で、キャリアガスノズル31と略同じ位置から先端部に向けてテーパ状に小径となっている。通ガス管36の先端部は、試料液ノズル31及びキャリアガスノズル32の先端部よりも突出している。
本実施形態においては、通ガス管34を先細に形成しているので、霧化試料の拡散範囲が狭くなり、通ガス管34内への霧の拡散も防止されて、通ガス管34内の水滴化が抑制される。そして、水滴化抑制効果が高いので、通ガス管34の通ガス量が少なくてすむ。
実施の形態3.
図5は、本発明の実施の形態3に係る試料液霧化装置10の一部を示す断面図である。図中、実施の形態1の図1の試料液霧化装置10と同一部分は同一符号を付してある。
図5は、本発明の実施の形態3に係る試料液霧化装置10の一部を示す断面図である。図中、実施の形態1の図1の試料液霧化装置10と同一部分は同一符号を付してある。
本実施形態の試料液霧化装置10のフッ素樹脂製のエンドキャップ2には、ホウ珪酸ガラス製で円筒状の通ガス管11が貫通されている。通ガス管11の先端部は、先細に形成されている。通ガス管11には、アルゴンガスを通ガス管11内に供給するためのアルゴンガス供給管11aが立設されており、アルゴンガス供給管11aはエンドキャップ2の後端部に嵌められている。通ガス管11の後端部には、フッ素樹脂製のエンドキャップ12が嵌められており、このエンドキャップ12にネブライザ9が貫通されている。ネブライザ9は、先端部を通ガス管11の先端部より少し後退させた状態で、エンドキャップ12に嵌められている。
ネブライザ9において、試料液を噴出させる試料液ノズル91の外周側には、試料液ノズル91と同心に、キャリアガスとしてのアルゴンガスを噴出させるキャリアガスノズル92が設けられている。キャリアガスノズル92の後端部の下側にはアルゴンガスが供給されるアルゴンガス供給管93が設けられている。試料液ノズル91及びキャリアガスノズル92はガラス製であり、先細に形成されている。ネブライザ9は、エンドキャップ12に、キャリアガスノズル92が通ガス管11と同心になるように嵌められる。
本実施形態においては、試料を霧化させるときに、ネブライザ9の先端部近傍に粗い霧や粘性が高い霧が生じた場合でも通ガス管11を通流されるアルゴンガスによってスプレーチャンバ1の底部側に強制的に排出される。よって、前記霧が霧化試料に吸着したり、ネブライザ9側に逆流してネブライザ9及び通ガス管11の表面に水滴が付着することがない。また、通ガス管11を通流されるアルゴンガスによりキャリアガスノズル92の外周面がドライな状態を保持し、通ガス管11の内側で水滴が形成されにくい。
従って、この試料液霧化装置10をICP−MSやICP−AESに用いることにより、検出信号にノイズが生じて誤差が生じることがなく、安定性及び信頼性を有して、定性分析や定量分析を行うことが出来る。
なお、本実施形態においては、通ガス管11のアルゴンガス供給管11aがエンドキャップ2に嵌められた場合につき説明しているがこれに限定されず、通ガス管11がエンドキャップ2に嵌められている位置より後端側に設けられるものであってもよい。また、アルゴンガス供給管11aとアルゴンガス供給管93とが180度をなすように配置されなくてもよい。
1 スプレーチャンバ
2 エンドキャップ
3 ネブライザ
31 試料液ノズル
32 キャリアガスノズル
33 アルゴンガス供給管
34 通ガス管
35 アルゴンガス供給管
4 移送管
5 排出管
6 隔壁筒
9 ネブライザ
91 試料液ノズル
92 キャリアガスノズル
93 アルゴンガス供給管
10 試料液霧化装置
11 通ガス管
11a アルゴンガス供給管
12 エンドキャップ
2 エンドキャップ
3 ネブライザ
31 試料液ノズル
32 キャリアガスノズル
33 アルゴンガス供給管
34 通ガス管
35 アルゴンガス供給管
4 移送管
5 排出管
6 隔壁筒
9 ネブライザ
91 試料液ノズル
92 キャリアガスノズル
93 アルゴンガス供給管
10 試料液霧化装置
11 通ガス管
11a アルゴンガス供給管
12 エンドキャップ
Claims (5)
- 試料液を噴出させる試料液ノズルと、該試料液ノズルの外周側に配設され、キャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルとを備えるネブライザにおいて、
前記キャリアガスノズルの外周側に、ガスを通流させる通ガス管をさらに備えることを特徴とするネブライザ。 - 前記通ガス管の先端部を突出させてある請求項1に記載のネブライザ。
- 前記通ガス管が先細である請求項1又は2に記載のネブライザ。
- 試料液を噴出させる試料液ノズルと、該試料液ノズルの外周側に配設され、キャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルとを有するネブライザと、
その一端部に設けた蓋部に前記ネブライザの先端部が貫通されており、該ネブライザから噴出される、霧化された試料を径の大きさで分別するスプレーチャンバと
を備える試料液霧化装置において、
前記ネブライザは請求項1乃至3のいずれかに記載のネブライザであることを特徴とする試料液霧化装置。 - 試料液を噴出させる試料液ノズル、及びキャリアガスを噴出させるキャリアガスノズルを有するネブライザの先端部を、スプレーチャンバの一端部に設けた蓋部に貫通させてスプレーチャンバに挿入する試料液霧化装置において、
前記スプレーチャンバに挿入されるネブライザの外周部分を包囲し、その内周側にガスを通流させる通ガス管を、前記蓋部に備えることを特徴とする試料液霧化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005306194A JP2007114063A (ja) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | ネブライザ及び試料液霧化装置 |
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JP2005306194A JP2007114063A (ja) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | ネブライザ及び試料液霧化装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011059031A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 噴霧器および分析装置 |
CN101706436B (zh) * | 2009-12-02 | 2011-09-21 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | Icp光谱仪进样系统的雾化室 |
WO2022107302A1 (ja) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 博明 田尾 | スプレーチャンバー、スプレーチャンバー用補助具、試料霧化導入装置および試料霧化導入装置の作動方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58167450U (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-08 | 株式会社島津製作所 | 高周波プラズマ分析装置 |
JPH05234566A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Jeol Ltd | 試料液霧化装置 |
JPH07248296A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-09-26 | Jeol Ltd | プラズマ分析装置用試料霧化装置 |
JPH10274641A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Yokogawa Analytical Syst Kk | ネブライザ |
JP2001517353A (ja) * | 1996-01-31 | 2001-10-02 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 機械的に固定した内部微小管を有する液滴生成装置 |
-
2005
- 2005-10-20 JP JP2005306194A patent/JP2007114063A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58167450U (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-08 | 株式会社島津製作所 | 高周波プラズマ分析装置 |
JPH05234566A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Jeol Ltd | 試料液霧化装置 |
JPH07248296A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-09-26 | Jeol Ltd | プラズマ分析装置用試料霧化装置 |
JP2001517353A (ja) * | 1996-01-31 | 2001-10-02 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 機械的に固定した内部微小管を有する液滴生成装置 |
JPH10274641A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Yokogawa Analytical Syst Kk | ネブライザ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011059031A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 噴霧器および分析装置 |
CN101706436B (zh) * | 2009-12-02 | 2011-09-21 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | Icp光谱仪进样系统的雾化室 |
WO2022107302A1 (ja) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 博明 田尾 | スプレーチャンバー、スプレーチャンバー用補助具、試料霧化導入装置および試料霧化導入装置の作動方法 |
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