JPS59109776U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS59109776U JPS59109776U JP159383U JP159383U JPS59109776U JP S59109776 U JPS59109776 U JP S59109776U JP 159383 U JP159383 U JP 159383U JP 159383 U JP159383 U JP 159383U JP S59109776 U JPS59109776 U JP S59109776U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- reaction gas
- gas introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図イ１口は従来の気相成長装置の一例を示す断面図
、第２図は本考案の一実施例を示す断面図、第３図は第
２図のノズル及びガス導入配管の部分図である。 １１・・・反応気体導入用ノズル、ｌｌｂ・・・中心部
のノズル、１１Ｃ・・・外周側のノズル。
、第２図は本考案の一実施例を示す断面図、第３図は第
２図のノズル及びガス導入配管の部分図である。 １１・・・反応気体導入用ノズル、ｌｌｂ・・・中心部
のノズル、１１Ｃ・・・外周側のノズル。
Claims (1)
- 円板型サセプター気相成長装置において、ペルジャー内
に設置した反応気体導入用ノズルを異種のガスを別個に
導入する二重管構造としたことを一特徴とする気相成長
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP159383U JPS59109776U (ja) | 1983-01-10 | 1983-01-10 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP159383U JPS59109776U (ja) | 1983-01-10 | 1983-01-10 | 気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59109776U true JPS59109776U (ja) | 1984-07-24 |
| JPS6329744Y2 JPS6329744Y2 (ja) | 1988-08-09 |
Family
ID=30133310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP159383U Granted JPS59109776U (ja) | 1983-01-10 | 1983-01-10 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59109776U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5381488A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas phase growth apparatus |
| JPS5420972A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-16 | Nec Corp | Vapor phase growing device |
| JPS5442747U (ja) * | 1977-08-30 | 1979-03-23 |
-
1983
- 1983-01-10 JP JP159383U patent/JPS59109776U/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5381488A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas phase growth apparatus |
| JPS5420972A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-16 | Nec Corp | Vapor phase growing device |
| JPS5442747U (ja) * | 1977-08-30 | 1979-03-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6329744Y2 (ja) | 1988-08-09 |
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