JPS58168574U - 気相成長反応炉 - Google Patents
気相成長反応炉Info
- Publication number
- JPS58168574U JPS58168574U JP6508682U JP6508682U JPS58168574U JP S58168574 U JPS58168574 U JP S58168574U JP 6508682 U JP6508682 U JP 6508682U JP 6508682 U JP6508682 U JP 6508682U JP S58168574 U JPS58168574 U JP S58168574U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth reactor
- susceptor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の気相成長炉の断面図、第2図は本考案気
相成長炉の一実施例を示す断面図、第3図はサセプタあ
拡大斜視図である。 2・・・石英反応管、3・・!ガス導入管、4・・・R
Fコイル、5・・・サセプタ。
相成長炉の一実施例を示す断面図、第3図はサセプタあ
拡大斜視図である。 2・・・石英反応管、3・・!ガス導入管、4・・・R
Fコイル、5・・・サセプタ。
Claims (1)
- 、 サセプタ内に側面より基板表面に通ずる空洞を設
け、ガス導入管の1本をサセプタに接続して基板サプタ
ガス分解炉を形成せしめたことを特徴とする気相成長反
応炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6508682U JPS58168574U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 気相成長反応炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6508682U JPS58168574U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 気相成長反応炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58168574U true JPS58168574U (ja) | 1983-11-10 |
Family
ID=30075086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6508682U Pending JPS58168574U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 気相成長反応炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58168574U (ja) |
-
1982
- 1982-05-06 JP JP6508682U patent/JPS58168574U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS58168574U (ja) | 気相成長反応炉 | |
JPS58168575U (ja) | 有機金属気相成長装置 | |
JPS59103770U (ja) | 薄膜気相成長装置 | |
JPS6057125U (ja) | 半導体気相成長装置 | |
JPS59109777U (ja) | 原料ガス供給装置 | |
JPS6139937U (ja) | 拡散炉型気相成長装置 | |
JPS60132458U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS596836U (ja) | 薄膜気相成長装置 | |
JPS59117139U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS605116U (ja) | 気相成長用サセプタ | |
JPS6090831U (ja) | 半導体のエピタキシヤル装置 | |
JPS6094822U (ja) | 減圧気相成長装置 | |
JPS5891440U (ja) | 炭化けい素ホイスカ−生成用反応容器 | |
JPS59109776U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS5926238U (ja) | Cvd装置 | |
JPS5885336U (ja) | 半導体気相成長装置 | |
JPS60124032U (ja) | 半導体ウエハ処理用縦型炉 | |
JPS6016535U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS5868958U (ja) | グロ−放電cvd装置 | |
JPH0229521U (ja) | ||
JPS60185666U (ja) | 液相エピタキシヤル成長炉 | |
JPS60185331U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS58133932U (ja) | 化合物半導体の気相成長装置 | |
JPS60166142U (ja) | 半導体ウエハの気相成長装置 | |
JPS6094821U (ja) | プラズマcvd装置 |