JPS59103770U - 薄膜気相成長装置 - Google Patents
薄膜気相成長装置Info
- Publication number
- JPS59103770U JPS59103770U JP19855782U JP19855782U JPS59103770U JP S59103770 U JPS59103770 U JP S59103770U JP 19855782 U JP19855782 U JP 19855782U JP 19855782 U JP19855782 U JP 19855782U JP S59103770 U JPS59103770 U JP S59103770U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- film vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の薄膜気相成長装置を示す断面概略図、第
２図は本考案実施例の薄膜気相成長装置を示す断面概略
図である。 ／〜ｌ・・・サセプター、３・・・基板、５ａ、 ５ｂ
・・・反応ガ久供給用ノズル。
２図は本考案実施例の薄膜気相成長装置を示す断面概略
図である。 ／〜ｌ・・・サセプター、３・・・基板、５ａ、 ５ｂ
・・・反応ガ久供給用ノズル。
Claims (1)
- 一 所望の薄膜を気相成長させるべき基板を下面におい
て支持するサセプターを上方に設け、このサセプターの
下方に上方に向けて反応ガスを噴出する反応ガス供給用
ノズルを設けたことを特徴とする薄膜気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19855782U JPS59103770U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 薄膜気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19855782U JPS59103770U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 薄膜気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103770U true JPS59103770U (ja) | 1984-07-12 |
Family
ID=30424124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19855782U Pending JPS59103770U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 薄膜気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103770U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01239086A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Mitsubishi Kasei Corp | 有機金属化学気相反応装置 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP19855782U patent/JPS59103770U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01239086A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Mitsubishi Kasei Corp | 有機金属化学気相反応装置 |
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