JPS6116366U - 気相成長用ノズル - Google Patents

気相成長用ノズル

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JPS6116366U
JPS6116366U JP9895884U JP9895884U JPS6116366U JP S6116366 U JPS6116366 U JP S6116366U JP 9895884 U JP9895884 U JP 9895884U JP 9895884 U JP9895884 U JP 9895884U JP S6116366 U JPS6116366 U JP S6116366U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor phase
phase growth
nozzle
ejection holes
growth nozzle
Prior art date
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Pending
Application number
JP9895884U
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English (en)
Inventor
伸夫 柏木
美彦 宮崎
繁 鈴木
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP9895884U priority Critical patent/JPS6116366U/ja
Publication of JPS6116366U publication Critical patent/JPS6116366U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示すものて、第１
図は気相成長装置を示す概略的構成図、第２図はノズル
から噴出される反応ガスの流速を示す説明図、第３図は
ウエハ上に反応ガスが平行，に流れた場合の成長層を示
す側面図、第４図は従来例を示す構成図、第５図はその
ノズルから噴出される反応ガスの流速を示す説明図であ
る。 １９・・・ノズル、２０・・・ガス噴出孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 気相成長装置に備えられるものにおいて、周壁に反応ガ
    スを噴出させる複数個のガス噴出孔を有してなり、前記
    複数個の〃ス噴出孔はその孔径を異にし、下流側に位置
    するものほどその孔径を犬としたことを特徴とする気相
    成長用ノズル。
JP9895884U 1984-06-30 1984-06-30 気相成長用ノズル Pending JPS6116366U (ja)

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JP9895884U JPS6116366U (ja) 1984-06-30 1984-06-30 気相成長用ノズル

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JPS6116366U true JPS6116366U (ja) 1986-01-30

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01134911A (ja) * 1987-11-20 1989-05-26 Tel Sagami Ltd 縦形気相成長装置
JPH01159376A (ja) * 1987-12-15 1989-06-22 Hitachi Ltd 耐熱部材内部のアルミニウム被覆方法およびその装置
JPH02154419A (ja) * 1988-12-06 1990-06-13 Matsushita Electron Corp 半導体製造装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01134911A (ja) * 1987-11-20 1989-05-26 Tel Sagami Ltd 縦形気相成長装置
JPH01159376A (ja) * 1987-12-15 1989-06-22 Hitachi Ltd 耐熱部材内部のアルミニウム被覆方法およびその装置
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