JPS59131275U - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPS59131275U JPS59131275U JP2439183U JP2439183U JPS59131275U JP S59131275 U JPS59131275 U JP S59131275U JP 2439183 U JP2439183 U JP 2439183U JP 2439183 U JP2439183 U JP 2439183U JP S59131275 U JPS59131275 U JP S59131275U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist coating
- substrate
- coating equipment
- turntable
- coating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレジスト塗布装置の要部を示す断面図、
第２図はこの考案の実施例のレジスト塗布装置の要部を
示す断面図、第３図は第２図のレジスト塗布装置のノズ
ル部の平面図である。 １１：ターンテーブル、１７：気体噴出管、１７ａ：導
管部、１７ｂ：ノズル部、Ｗ：基板。
第２図はこの考案の実施例のレジスト塗布装置の要部を
示す断面図、第３図は第２図のレジスト塗布装置のノズ
ル部の平面図である。 １１：ターンテーブル、１７：気体噴出管、１７ａ：導
管部、１７ｂ：ノズル部、Ｗ：基板。
Claims (1)
- 基板を上記基板よりも形小のターンテーブルに取付は上
記ターンテーブルを回転させて上記基板の表面にレジス
トを塗布するレジスト塗布装置において、上記ターンテ
ーブルから突出する上記基板の裏面に気体を吹きつける
気体噴出管を具備することを特徴とするレジスト塗布装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2439183U JPS59131275U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2439183U JPS59131275U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59131275U true JPS59131275U (ja) | 1984-09-03 |
Family
ID=30155435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2439183U Pending JPS59131275U (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59131275U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013004659A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2439183U patent/JPS59131275U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013004659A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
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