JPS5967930U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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Publication number
JPS5967930U
JPS5967930U JP16440882U JP16440882U JPS5967930U JP S5967930 U JPS5967930 U JP S5967930U JP 16440882 U JP16440882 U JP 16440882U JP 16440882 U JP16440882 U JP 16440882U JP S5967930 U JPS5967930 U JP S5967930U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resist coating
coating equipment
substrate
coating device
mounting table
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Pending
Application number
JP16440882U
Other languages
English (en)
Inventor
雄二 福田
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Publication of JPS5967930U publication Critical patent/JPS5967930U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレジスト塗布装置の要部断面図、第２図
は従来の塗布状態を説明するための要部拡大断面図、第
３図は本考案の一実施例のレジスト塗布装置の要部断面
図、第４図は溶解除去を説明するための要部拡大断面図
である。図において１は基板載置台、２は基板、２１は
基板周縁部、３はレジスト液、６はレジスト溶剤液噴出
ノズルを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板を載置して回転する基板載置台と、該載置台の周囲
    を囲む容器とからなるレジスト塗布装置において、該容
    器に前記回転する基板の背面周縁部に近接して、レジス
    ト溶剤液噴出ノズルを設けたことを特徴とするレジスト
    塗布装置。
JP16440882U 1982-10-28 1982-10-28 レジスト塗布装置 Pending JPS5967930U (ja)

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JP16440882U JPS5967930U (ja) 1982-10-28 1982-10-28 レジスト塗布装置

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JPS5967930U true JPS5967930U (ja) 1984-05-08

Family

ID=30360457

Family Applications (1)

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JP16440882U Pending JPS5967930U (ja) 1982-10-28 1982-10-28 レジスト塗布装置

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JP (1) JPS5967930U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013243317A (ja) * 2012-05-22 2013-12-05 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置、基板処理システムおよび基板処理方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013243317A (ja) * 2012-05-22 2013-12-05 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置、基板処理システムおよび基板処理方法

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