JPS6054140U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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JPS6054140U
JPS6054140U JP14497683U JP14497683U JPS6054140U JP S6054140 U JPS6054140 U JP S6054140U JP 14497683 U JP14497683 U JP 14497683U JP 14497683 U JP14497683 U JP 14497683U JP S6054140 U JPS6054140 U JP S6054140U
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JP
Japan
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resist
resist coating
coating equipment
disk
substrate
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Pending
Application number
JP14497683U
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English (en)
Inventor
哲 大石
正治 石垣
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Publication of JPS6054140U publication Critical patent/JPS6054140U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来におけるレジスト塗布装置の概念図、第２
図は本考案の一実施例のレジスト塗布装置の概念図、第
３図は他の実施例のレジスト塗布装置の概念図である。 １・・・ガラス基板、２・・・モータ、３・・・テーブ
ル、４・・・レジストタンク、５・・・ポンプ、６・・
・ノズル、７・・・容器、８，８′・・・円板、９・・
・円板固定具、１０・・・容器のふた。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転するテーブル上の基板にレジストを滴下させてレジ
    ストを塗布する装置において、基板の上方に空間を介し
    て中央に孔を有する円板を配設し、該円板の中央の孔よ
    りレジストを滴下させてレジストを塗布することを特徴
    とするレジスト塗布装置。
JP14497683U 1983-09-21 1983-09-21 レジスト塗布装置 Pending JPS6054140U (ja)

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JP14497683U JPS6054140U (ja) 1983-09-21 1983-09-21 レジスト塗布装置

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JPS6054140U true JPS6054140U (ja) 1985-04-16

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