JPS5812268U - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5812268U JPS5812268U JP10574381U JP10574381U JPS5812268U JP S5812268 U JPS5812268 U JP S5812268U JP 10574381 U JP10574381 U JP 10574381U JP 10574381 U JP10574381 U JP 10574381U JP S5812268 U JPS5812268 U JP S5812268U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- holder
- deposition equipment
- evaporation
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の蒸着装置の模式図を示し、また、第２図
はこの考案の実施例である蒸着装置の要部断面図、第３
図は同装置に用いられる蒸発しゃへい板の一例の平面図
を示している。 １・・・蒸発源、２，３・・・ウェハーホルダ、１１・
・・蒸発しゃへい板、１２ａ〜１２ｆ・・・開口部、１
３・・・ウェハー。
はこの考案の実施例である蒸着装置の要部断面図、第３
図は同装置に用いられる蒸発しゃへい板の一例の平面図
を示している。 １・・・蒸発源、２，３・・・ウェハーホルダ、１１・
・・蒸発しゃへい板、１２ａ〜１２ｆ・・・開口部、１
３・・・ウェハー。
Claims (1)
- ウェハーホルダにプラネタリウム式ホルダを用い、この
ホルダを自公転させることによってウェハー面に金属を
蒸着させる装置であって、中心部から周縁部に向かって
開口面積の小さくなる様にし−た開口部を設けた蒸発し
ゃへい板を、蒸発源の上方に配置させたことを特徴とす
る蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10574381U JPS5812268U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10574381U JPS5812268U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5812268U true JPS5812268U (ja) | 1983-01-26 |
Family
ID=29900269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10574381U Pending JPS5812268U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5812268U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012525503A (ja) * | 2009-04-28 | 2012-10-22 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | 円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのｈｕｌａ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP10574381U patent/JPS5812268U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012525503A (ja) * | 2009-04-28 | 2012-10-22 | フェローテック（ユーエスエー）コーポレイション | 円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのｈｕｌａ基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム |
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