JPS6033605U - 回転テ−ブルの位置検出機構 - Google Patents

回転テ−ブルの位置検出機構

Info

Publication number
JPS6033605U
JPS6033605U JP12527483U JP12527483U JPS6033605U JP S6033605 U JPS6033605 U JP S6033605U JP 12527483 U JP12527483 U JP 12527483U JP 12527483 U JP12527483 U JP 12527483U JP S6033605 U JPS6033605 U JP S6033605U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotary table
position detection
detection mechanism
table position
blocking body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12527483U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0351695Y2 (ja
Inventor
石川 賢次
森井 正夫
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP12527483U priority Critical patent/JPS6033605U/ja
Publication of JPS6033605U publication Critical patent/JPS6033605U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0351695Y2 publication Critical patent/JPH0351695Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す平面図、第2図はその
A−A断面図である。 1:回転テーブル、2:試料、3:ホルダ、4:モータ
、5,6:環状突起、7,8:発光素子、9,10:光
検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料を上面に保持する回転テーブルと、該回転テーブル
    の下面に取付けられた遮断体と、該回転テーブルと共に
    回転する遮断体が間を通過するように該回転テーブルの
    下方に対向配置される1対の電磁波発生器と検出器とを
    備え、該遮断体による電磁波の遮断の有無により回転テ
    ーブルの回転位置を検出するようにしたことを特徴とす
    る回転テーブルの位置検出機構。
JP12527483U 1983-08-12 1983-08-12 回転テ−ブルの位置検出機構 Granted JPS6033605U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12527483U JPS6033605U (ja) 1983-08-12 1983-08-12 回転テ−ブルの位置検出機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12527483U JPS6033605U (ja) 1983-08-12 1983-08-12 回転テ−ブルの位置検出機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6033605U true JPS6033605U (ja) 1985-03-07
JPH0351695Y2 JPH0351695Y2 (ja) 1991-11-07

Family

ID=30285285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12527483U Granted JPS6033605U (ja) 1983-08-12 1983-08-12 回転テ−ブルの位置検出機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6033605U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09318305A (ja) * 1996-05-31 1997-12-12 Denso Corp 位置検出装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS526186A (en) * 1975-07-03 1977-01-18 Naotoshi Okamura Sheet cutting machine

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS526186A (en) * 1975-07-03 1977-01-18 Naotoshi Okamura Sheet cutting machine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09318305A (ja) * 1996-05-31 1997-12-12 Denso Corp 位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0351695Y2 (ja) 1991-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6033605U (ja) 回転テ−ブルの位置検出機構
JPS6037815U (ja) 回転角度検出装置
JPS5980709U (ja) 高度角測定装置
JPS60168708U (ja) 目地カバ−
JPS6082461U (ja) 真空蒸着装置における基板ホルダ−
JPS6013409U (ja) 操舵角検出装置
JPS5989275U (ja) 表面線量率測定装置
JPS58132885U (ja) 赤外線式人体検知器
JPH0158940U (ja)
JPS58121087U (ja) デイスプレイ装置回転機構
JPS5861311U (ja) 浮枠共廻り検出装置
JPS5812268U (ja) 蒸着装置
JPS6013048U (ja) 二人掛け回転式ソフア−
JPS58162026U (ja) 水面検出器
JPS60123727U (ja) カセツトケ−スの再生面表示装置
JPS5815351U (ja) 半導体検査装置
JPS60132171U (ja) ブラシ摩耗検出装置
JPS60121970U (ja) チルトハンドル
JPS6117628U (ja) 揺動検出素子
JPS5862267U (ja) 吸引吐出ノズル
JPS5978960U (ja) 赤外吸収スペクトル測定用の試料板
JPS60144523U (ja) 空気の層をもつボデイカバ−
JPS5971139U (ja) 焦電型赤外線検出器
JPS5953013U (ja) 超音波探触子
JPS5937504U (ja) 磁気検出型位置検出器