JPH0158940U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158940U JPH0158940U JP15423187U JP15423187U JPH0158940U JP H0158940 U JPH0158940 U JP H0158940U JP 15423187 U JP15423187 U JP 15423187U JP 15423187 U JP15423187 U JP 15423187U JP H0158940 U JPH0158940 U JP H0158940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- rotating table
- orientation flat
- chucks
- transmission type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を示す側面図
および上面図、第２図ａ，ｂは従来の一例を示す
側面図、上面図である。 １……ウエハ、１ａ……オリエンテーシヨンフ
ラツト、２……ウエハ回転台、３……光学式透過
型検出器、３ａ……受光部、３ｂ……投光部。
および上面図、第２図ａ，ｂは従来の一例を示す
側面図、上面図である。 １……ウエハ、１ａ……オリエンテーシヨンフ
ラツト、２……ウエハ回転台、３……光学式透過
型検出器、３ａ……受光部、３ｂ……投光部。
Claims (1)
- オリエンテーシヨンフラツトを有するウエハを
真空吸着して回転させるウエハ回転台と、前記ウ
エハ回転台を回転させた場合に前記ウエハのオリ
エンテーシヨンフラツト部の通過領域内に検出点
を有しかつ光路が前記ウエハの回転軸に対して斜
めに取付けられ前記ウエハの上方の外側に受光部
または投光部を設けた光学式の透過型検出器とを
含むことを特徴とするウエハのプリアライメント
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15423187U JPH0158940U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15423187U JPH0158940U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158940U true JPH0158940U (ja) | 1989-04-13 |
Family
ID=31430781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15423187U Pending JPH0158940U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0158940U (ja) |
-
1987
- 1987-10-07 JP JP15423187U patent/JPH0158940U/ja active Pending
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