JPS6082461U - 真空蒸着装置における基板ホルダ− - Google Patents

真空蒸着装置における基板ホルダ−

Info

Publication number
JPS6082461U
JPS6082461U JP17577183U JP17577183U JPS6082461U JP S6082461 U JPS6082461 U JP S6082461U JP 17577183 U JP17577183 U JP 17577183U JP 17577183 U JP17577183 U JP 17577183U JP S6082461 U JPS6082461 U JP S6082461U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate holder
vacuum evaporation
evaporation equipment
evaporation source
abstract
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17577183U
Other languages
English (en)
Inventor
秋葉　繁夫
Original Assignee
真空器械工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 真空器械工業株式会社 filed Critical 真空器械工業株式会社
Priority to JP17577183U priority Critical patent/JPS6082461U/ja
Publication of JPS6082461U publication Critical patent/JPS6082461U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の基板ホルダーを備えた蒸着装置の概
略断面図、第２図はこの考案の基板ホルダーの実施例を
示す平面図、第３図はこの足面図、第４図は右側面図、
第５図は第２図の線Ａ−Ａに沿った断面図である。 、図中、１０は基板ホルダー、１６は蒸着室、２４は回
転リング、２６は蒸発源、４０は周面、４２は開口であ
る。 ４４４４ イ６　　　　　　　） ６

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸発源を内部に配してこれを囲むように立設される基板
    ホルダーであって、この基板ホルダーが蒸発源に向って
    倒れる方向に１．５〜８度傾いていることを特徴とする
    真空蒸着装置における基板ホルダー。
JP17577183U 1983-11-11 1983-11-11 真空蒸着装置における基板ホルダ− Pending JPS6082461U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17577183U JPS6082461U (ja) 1983-11-11 1983-11-11 真空蒸着装置における基板ホルダ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17577183U JPS6082461U (ja) 1983-11-11 1983-11-11 真空蒸着装置における基板ホルダ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6082461U true JPS6082461U (ja) 1985-06-07

Family

ID=30382314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17577183U Pending JPS6082461U (ja) 1983-11-11 1983-11-11 真空蒸着装置における基板ホルダ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6082461U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6082461U (ja) 真空蒸着装置における基板ホルダ−
JPS60154858U (ja) 試料容器
JPS59133663U (ja) 電子ビ−ム蒸着装置
JPS60144523U (ja) 空気の層をもつボデイカバ−
JPS6082460U (ja) 真空蒸着装置用基板ホルダ−
JPS618480U (ja) 回転塗布装置
JPS5812268U (ja) 蒸着装置
JPS5980464U (ja) 蒸着装置
JPS6013048U (ja) 二人掛け回転式ソフア−
JPS5915511U (ja) 熱成形機の成形型取付テ−ブルにおける真空吸引接続口接続装置
JPS6033605U (ja) 回転テ−ブルの位置検出機構
JPS5933248U (ja) ウエハのフアセツト合せ装置
JPS5912866U (ja) 真空蒸着装置
JPS58180403U (ja) 分度器
JPS5985987U (ja) 吸着保持装置
JPS5929038U (ja) 半導体基板の整列装置
JPS5842158U (ja) 蒸着物質供給器
JPS5962506U (ja) 測量機
JPS59125064U (ja) 蓄電池
JPS6085614U (ja) 吸着盤
JPS59187133U (ja) 蒸着装置
JPS6112647U (ja) 側面、上面加工用万能割出台
JPS58121726U (ja) 傾斜移送装置
JPS5861797U (ja) 空気分離型容器
JPS58190074U (ja) 底に凹凸のついた花びん