JPS5985987U - 吸着保持装置 - Google Patents
吸着保持装置Info
- Publication number
- JPS5985987U JPS5985987U JP18268182U JP18268182U JPS5985987U JP S5985987 U JPS5985987 U JP S5985987U JP 18268182 U JP18268182 U JP 18268182U JP 18268182 U JP18268182 U JP 18268182U JP S5985987 U JPS5985987 U JP S5985987U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction plate
- holding device
- substrate
- top surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案−実施例の外観斜視図である。
第２図は第１図実施例の縦断面図である。
１０・・・・・・基板、１５・・・・・・基板上面、１
６・・・・・・吸引溝、２０・・・・・・押え環、３０
・・・・・・吸着板、３５・・・・・・吸着板上面、３
６・・・・・・吸着板下面、３２・・・・・・吸着路、
０・・・・・・対象物。
６・・・・・・吸引溝、２０・・・・・・押え環、３０
・・・・・・吸着板、３５・・・・・・吸着板上面、３
６・・・・・・吸着板下面、３２・・・・・・吸着路、
０・・・・・・対象物。
Claims (2)
- （１）基板と、この基板の上面に下面を接して載置され
る吸着板とを備え、基板に形成された吸着°溝および吸
着板の下面から上面へと貫通して形成された吸着路を介
して吸引することにより、５ 、 吸着板上面に
載置された対象物を吸着板共々基板に吸着する吸着保持
装置において、前記基板の上面を反射面とすると共に前
記吸着板を透明体で構成したことを特徴とする吸着保持
装置。 - （２）吸着板に形成される吸着路を吸着板平面において
均一に分布されると共に、この吸着路を吸着板上面側て
細径、下面側で太径とした実用新案登録請求の範囲第（
１）項に記載の吸着保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18268182U JPS5985987U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18268182U JPS5985987U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 吸着保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985987U true JPS5985987U (ja) | 1984-06-11 |
Family
ID=30395555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18268182U Pending JPS5985987U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | 吸着保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985987U (ja) |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP18268182U patent/JPS5985987U/ja active Pending
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