JPS5980464U - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5980464U JPS5980464U JP17655382U JP17655382U JPS5980464U JP S5980464 U JPS5980464 U JP S5980464U JP 17655382 U JP17655382 U JP 17655382U JP 17655382 U JP17655382 U JP 17655382U JP S5980464 U JPS5980464 U JP S5980464U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition equipment
- vacuum container
- substrate holder
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る蒸着装置の第１実施例を示す断面
図、年２図は第２実施例を示す断面図である。 １・・・ベルジャ、２・・・フラッシュガン、３・・・
円筒状基板ホルダ、４・・・高速回転用、５・・・ノズ
ル、６・・・真空排気系、７・・・磁器製フィルタ。
図、年２図は第２実施例を示す断面図である。 １・・・ベルジャ、２・・・フラッシュガン、３・・・
円筒状基板ホルダ、４・・・高速回転用、５・・・ノズ
ル、６・・・真空排気系、７・・・磁器製フィルタ。
Claims (1)
- 真空容器の底部に蒸発源を配置し、前記真空容器の側面
内側に円筒状基板ホルダを上下移動自在に設け、前記真
空容器上部に回転量又は下方にガスを送出するフィルタ
を配置したことを特徴とする蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17655382U JPS5980464U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17655382U JPS5980464U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980464U true JPS5980464U (ja) | 1984-05-31 |
| JPS626130Y2 JPS626130Y2 (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=30383821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17655382U Granted JPS5980464U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5980464U (ja) |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17655382U patent/JPS5980464U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626130Y2 (ja) | 1987-02-12 |
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