JPS58183281U - スプレプロセス装置 - Google Patents
スプレプロセス装置Info
- Publication number
- JPS58183281U JPS58183281U JP7900482U JP7900482U JPS58183281U JP S58183281 U JPS58183281 U JP S58183281U JP 7900482 U JP7900482 U JP 7900482U JP 7900482 U JP7900482 U JP 7900482U JP S58183281 U JPS58183281 U JP S58183281U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- spray process
- sample
- process equipment
- spinner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のスプレプロセス装置の概略側断面図、第
２図は本考案の一実施例の概略側断面図である。 １・・・試料、２・・・スピナ、３・・・チェンバ、４
・・・スプレノズル、５・・・加工液、８・・・再付着
防止カバー、９・・・開口、１０・・・給気孔、１１・
・・排気孔。
２図は本考案の一実施例の概略側断面図である。 １・・・試料、２・・・スピナ、３・・・チェンバ、４
・・・スプレノズル、５・・・加工液、８・・・再付着
防止カバー、９・・・開口、１０・・・給気孔、１１・
・・排気孔。
Claims (1)
- チェンバ内のスピナに試料を載置し、スフレテ加工液を
試料に噴射して、試料の現像及びエツチングを行うスプ
レプロセス装置において、チェンバ内にスピナを囲み、
かつスプレの噴射する加工液を取入れる開口を有した再
付着防止カバーを設け、チェンバ下部にチェンバ内に気
体を給入する給気孔を設けると共に、再付着防止カバー
下部には、給入した気体を排気する排気孔を設けたこと
を特徴とするスプレプロセス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7900482U JPS58183281U (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | スプレプロセス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7900482U JPS58183281U (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | スプレプロセス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58183281U true JPS58183281U (ja) | 1983-12-06 |
Family
ID=30088202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7900482U Pending JPS58183281U (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | スプレプロセス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58183281U (ja) |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP7900482U patent/JPS58183281U/ja active Pending
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