JPS594542U - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPS594542U JPS594542U JP9887182U JP9887182U JPS594542U JP S594542 U JPS594542 U JP S594542U JP 9887182 U JP9887182 U JP 9887182U JP 9887182 U JP9887182 U JP 9887182U JP S594542 U JPS594542 U JP S594542U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist coating
- coating equipment
- resist
- abstract
- coating chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレジスト塗布装置を示す構成図、第２図
は本考案の一実施例であるレジスト塗布装置を示す構成
図である。図において１１・・・ウェハ、１２・・・ウ
ェハホルダ、１３・・・ノズル、１４・・・高圧室、１
５・・・クリーンブース。
は本考案の一実施例であるレジスト塗布装置を示す構成
図である。図において１１・・・ウェハ、１２・・・ウ
ェハホルダ、１３・・・ノズル、１４・・・高圧室、１
５・・・クリーンブース。
Claims (1)
- レジスト液をスピンコードするレジスト塗布室を有し、
該レジスト塗布室がレジスト塗布時に高圧密閉される様
に構成されていることを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887182U JPS594542U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887182U JPS594542U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS594542U true JPS594542U (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=30234554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9887182U Pending JPS594542U (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594542U (ja) |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP9887182U patent/JPS594542U/ja active Pending
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