JPS60169837U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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JPS60169837U
JPS60169837U JP5689684U JP5689684U JPS60169837U JP S60169837 U JPS60169837 U JP S60169837U JP 5689684 U JP5689684 U JP 5689684U JP 5689684 U JP5689684 U JP 5689684U JP S60169837 U JPS60169837 U JP S60169837U
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JP
Japan
Prior art keywords
exhaust
processing cup
measuring device
pressure measuring
exhaust fan
Prior art date
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Pending
Application number
JP5689684U
Other languages
English (en)
Inventor
成田　敬道
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の一実施例の概略構成を示す説明図である
。 １・・・処理カップ、２・・・ウェハチャック、３・・
・ウェハ、４・・・レジスト噴出ノズル、５・・・排気
管、６・・・回収レジスト、７・・・レジスト溜部、９
・・・強制排気管、１０・・・排気圧測定器、１１・・
・制御器、１５・・・レジスト塗布装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理体であるウェハの出入口を有する密閉型の処理カ
    ップと、該処理カップ内に回転自在に設けられたウェハ
    チャックと、該ウェハチャックに対向して前記処理カッ
    プ内に設けられたレジスト噴出ノズルと、前記処理カッ
    プに接続された排気管と、該排気管に取付けられた排気
    圧測定器と、該排気管内に設けられた排気ファンと、前
    記排気圧測定器と該排気ファン間に電気的に介在され前
    記排気圧測定器の出力に応じて所定の駆動信号を該排気
    ファンに供給する制御器とを具備することを特徴とする
    レジスト塗布装置。
JP5689684U 1984-04-18 1984-04-18 レジスト塗布装置 Pending JPS60169837U (ja)

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JPS60169837U true JPS60169837U (ja) 1985-11-11

Family

ID=30580929

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6469012A (en) * 1987-09-10 1989-03-15 Kyushu Nippon Electric Semiconductor manufacturing apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57166033A (en) * 1981-04-06 1982-10-13 Toshiba Corp Applying device for resist with adjusting mechanism for quantity of exhaust gas
JPS5850738A (ja) * 1981-09-21 1983-03-25 Toshiba Corp レジストの塗布及び現像装置
JPS58178522A (ja) * 1982-04-14 1983-10-19 Hitachi Ltd 塗布方法および装置

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