JPS5996830U - コ−テイング装置 - Google Patents
コ−テイング装置Info
- Publication number
- JPS5996830U JPS5996830U JP19131782U JP19131782U JPS5996830U JP S5996830 U JPS5996830 U JP S5996830U JP 19131782 U JP19131782 U JP 19131782U JP 19131782 U JP19131782 U JP 19131782U JP S5996830 U JPS5996830 U JP S5996830U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating equipment
- wafer surface
- damper
- flow
- wafer
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
L 第1図は従来のコーティング装置の断面図、第
1 2図及び第3図は本考案によるコーティング装置上
の断面図である。
、1・・・カップ、2・・・下部排気口、3・・・回転
シャツ −ト、4・・・ウェファ−チャック、5・・
・ウェファ、6゜7.7′・・・ウェファからの蒸発物
の流れを制御するダンパ、8・・・ウェファからの蒸発
物、9・・・大気。
1 2図及び第3図は本考案によるコーティング装置上
の断面図である。
、1・・・カップ、2・・・下部排気口、3・・・回転
シャツ −ト、4・・・ウェファ−チャック、5・・
・ウェファ、6゜7.7′・・・ウェファからの蒸発物
の流れを制御するダンパ、8・・・ウェファからの蒸発
物、9・・・大気。
Claims (1)
- ウェファ表面に塗布された溶液から生じる蒸賃の流れが
実質上上記ウェファ表面に対して垂直になるように、装
置内に固定されたウェア表面の辺−傍にダンパを有する
ことを特徴とするコーティング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19131782U JPS5996830U (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | コ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19131782U JPS5996830U (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | コ−テイング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5996830U true JPS5996830U (ja) | 1984-06-30 |
Family
ID=30412017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19131782U Pending JPS5996830U (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | コ−テイング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5996830U (ja) |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP19131782U patent/JPS5996830U/ja active Pending
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