JPS5982257U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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JPS5982257U
JPS5982257U JP17800982U JP17800982U JPS5982257U JP S5982257 U JPS5982257 U JP S5982257U JP 17800982 U JP17800982 U JP 17800982U JP 17800982 U JP17800982 U JP 17800982U JP S5982257 U JPS5982257 U JP S5982257U
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JP
Japan
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resist
coated
turntable
resist coating
coating equipment
Prior art date
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Application number
JP17800982U
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English (en)
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JPS6218300Y2 (ja
Inventor
圭一 柴田
Original Assignee
株式会社東芝
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Publication date
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  • Coating Apparatus (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例を示す縦断面図、第２図乃至第４図はこ
の考案の一実施例を宗すもので、第２図は全体の概略構
成を示す縦断面図、第３図は要部の縦断面図、第４図は
同平面図、第巨図および第６図はそれぞれ異なる別の実
施例を示す縦断面図である。 １１．３１・・・ターンテーブル、１２．３２・・・突
部、１５．３３・・・ガラス原板（被塗布体）、１６・
・・取付孔、２１．３５・・・レジスト吸込口。 第２図 第３図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ターンテーブルの表面中央に突設された位置決め用の突
    部に被塗布体の中央に設けられた取付孔を嵌合させた状
    態で前記ターンテーブルに前記被塗布体を固着し、この
    固着状態で前記被塗布体の表面全体に、レジストを塗布
    するとともに、前記ターンテーブルの回転により前記被
    塗布体表面の不要なレジストを遠心力によって飛散させ
    て前記被塗布体の表面に設定膜厚のレジスト膜を塗布す
    るレジスト塗布装置において、前記ターンテーブルの突
    部にレジスト吸込口を設け、このレジスト吸込口を介し
    て不要なレジストを吸込むようにしたことを特徴とする
    レジスト塗布装置。
JP17800982U 1982-11-25 1982-11-25 レジスト塗布装置 Granted JPS5982257U (ja)

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JP17800982U JPS5982257U (ja) 1982-11-25 1982-11-25 レジスト塗布装置

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JP17800982U JPS5982257U (ja) 1982-11-25 1982-11-25 レジスト塗布装置

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Publication Number Publication Date
JPS5982257U true JPS5982257U (ja) 1984-06-02
JPS6218300Y2 JPS6218300Y2 (ja) 1987-05-11

Family

ID=30386590

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JP (1) JPS5982257U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61268378A (ja) * 1985-05-21 1986-11-27 Tdk Corp スピンナ−ヘツド
JPS62126283U (ja) * 1986-01-31 1987-08-11

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61268378A (ja) * 1985-05-21 1986-11-27 Tdk Corp スピンナ−ヘツド
JPS62126283U (ja) * 1986-01-31 1987-08-11

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JPS6218300Y2 (ja) 1987-05-11

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