JPS6218300Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案はガラス原板等の被塗布体の表面にレ
ジスト膜を塗布するレジスト塗布装置に関する。

〔考案の技術的背景〕

第１図は従来のレジスト塗布装置を示すもの
で、１はターンテーブルである。このターンテー
ブル１の上面中央には位置決め用の突部２が形成
されている。さらに、このターンテーブル１の上
面には中央以外の部位に複数の吸着溝３…が設け
られている。これらの吸着溝３…はターンテーブ
ル１の内部に形成された連通路４を介して例えば
真空ポンプ等に連結されている。そして、このタ
ーンテーブル１の上には例えばガラス原板５等の
被塗布体が載置されるようになつている。このガ
ラス原板５には中央にターンテーブル１の突部２
と対応する形状の取付孔６が形成されている。そ
して、このガラス原板５の取付孔６をターンテー
ブル１の突部２に嵌合させた状態で、連通路４を
介して各吸着溝３…内の真空引きを行なうことに
より、真空吸着によつてターンテーブル１の上面
にガラス原板５が確実に固着されるようになつて
いる。また、ターンテーブル１の周囲には外囲器
７が配設されている。この外囲器７には排出口８
が連結されている。そして、ガラス原板５の表面
にレジストを塗布する場合には、ターンテーブル
１がモータ等の駆動源によつて回転駆動されると
ともに、このターンテーブル１上のガラス原板５
の上方に離間対向状態で配置されたノズル９がタ
ーンテーブル１の半径方向に進退駆動されるよう
になつており、この状態でノズル９からレジスト
が噴出され、ガラス原板５の表面全面にレジスト
が塗布されるようになつている。さらに、ガラス
原板５の表面にレジストが塗布されたのち、設定
膜厚に対応した回転数でターンテーブル１が一定
時間回転駆動されるようになつており、不要なレ
ジストを遠心力によつて飛散させて、ガラス原板
５の表面に設定膜厚のレジスト膜を形成するよう
になつている。また、ターンテーブル１の周囲に
飛散された不要なレジストは外囲器７によつて集
められ、排出口８から外部に排出されるようにな
つている。

〔背景技術の問題点〕

ガラス原板５の表面にレジストを塗布する作業
中に、ノズル９から噴出されたレジストがガラス
原板５の取付孔６とターンテーブル１の突部２と
の間に浸入する問題があつた。そして、ターンテ
ーブル１の回転中に、取付孔６と突部２との間に
浸入したレジスト或いは突部２に付着していたレ
ジストが遠心力によつて再び取付孔６の外方に押
し出されて飛散し、ガラス原板５の表面に付着す
る問題があつたので、ガラス原板５上のレジスト
膜の膜厚が局部的に厚くなるおそれがあつた。そ
のため、ガラス原板５の上に塗布されるレジスト
膜の厚さが不均一になり易く、製品の歩留りが低
下する問題があつた。なお、この種の製品では高
密度化および容量増加の要望が強く、これらの要
望に応じるには記録範囲をできるだけ広げること
が必要になつていた。そのため、ガラス原板５上
に塗布するレジスト膜の厚さ寸法をできるだけ全
面にわたつて均一化することが望まれていたのが
実情であつた。

〔考案の目的〕

この考案は被塗布体の表面に塗布されるレジス
ト膜の厚さ寸法を全面にわたつて均一化すること
ができるレジスト塗布装置を提供することを目的
とするものである。

〔考案の概要〕

ターンテーブルの中央に突設された位置決め用
の突部にレジスト吸込口を設け、被塗布体の取付
孔の内側に浸入する不要なレジストをこのレジス
ト吸込口内に吸込むようにしたものである。

〔考案の実施例〕

第２図乃至第４図はこの考案の一実施例を示す
ものである。第２図はレジスト塗布装置全体の概
略構成を示すもので、１１はターンテーブルであ
る。このターンテーブル１１の上面には中央に位
置決め用の突部１２が設けられているとともに、
中央以外の部位に複数の吸着溝１３…が設けられ
ている。これらの吸着溝１３…はターンテーブル
１１の内部に形成された第１の連通路１４を介し
て例えば真空ポンプに連結されている。また、前
記突部１２にはターンテーブル１１上に載置され
るガラス原板（被取付体）１５の取付孔１６が嵌
合されるようになつている。そして、突部１２に
取付孔１６が嵌合された状態で第１の連通路１４
を介して吸着溝１３…内の真空引きを行なうこと
により、ターンテーブル１１上に載置されたガラ
ス原板１５が真空吸着によつてターンテーブル１
１上に確実に固着されるようになつている。さら
に、前記突部１２には下部にガラス原板１５の取
付孔１６と略同径の嵌合部１７が形成されている
とともに、上部にガラス原板１５の取付孔１６よ
りも小径な小径部１８が形成されている。そし
て、ガラス原板１５の取付孔１６が突部１２に嵌
合された状態で取付孔１６の内壁面と突部１２の
小径部１８との間に円環状の凹部１９が形成され
るようになつている。また、嵌合部１７と小径部
１８との間に形成される段部２０にはレジスト吸
込口２１が形成されている。このレジスト吸込口
２１はターンテーブル１１の内部に前記第１の連
通路１４とは別個に形成された第２の連通路２２
を介して例えば真空ポンプに連結されている。そ
して、ターンテーブル１１上のガラス原板１５の
上方に離間対向された状態で配置されたノズル２
３からガラス原板１５の表面にレジストが噴出さ
れた場合にガラス原板１５の取付孔１６の内側の
凹部１９内に浸入した不要なレジストがレジスト
吸込口２１から吸込まれ、外部に排出されるよう
になつている。なお、２４はターンテーブル１１
の周囲に配設されレジストの飛散を防止する外囲
器、２５はこの外囲器２４によつて集められた不
要なレジストを外部に排出する排出口である。

そこで、上記構成のものにあつてはターンテー
ブル１１がモータ等の駆動源によつて回転駆動さ
れるとともに、ノズル２３がターンテーブル１１
の半径方向に進退駆動され、この状態でノズル２
３からガラス原板１５の表面にレジストが噴出さ
れた場合に、ガラス原板１５の取付孔１６の内側
の凹部１９内に浸入した不要なレジストや突部１
２に付着しているレジストはレジスト吸込口２１
から第２の連通路２２を介して外部に排出される
ようになつているので、ガラス原板１５の取付孔
１６の内側に浸入した不要なレジストが遠心力に
よつて再び取付孔１６の外方に押し出され、飛散
することを確実に防止することができる。したが
つて、ガラス原板１５上に塗布されるレジスト膜
の厚さ寸法を全面にわたつて均一化することがで
き、製品の歩留りの向上を図ることができる。さ
らに、記録範囲を広げる要望に対しても、充分に
応じることができる。

なお、この考案は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば、ターンテーブル１１の中央の
位置決め用の突部１２はターンテーブル１１とは
別体のものであつてもよい。さらに、第５図に示
すようにターンテーブル１１の中央に設けられた
位置決め用の突部１２の小径部１８の外周面１８
ａを下方の外径寸法に比べて上方の外径寸法が小
さくなるテーパ面にしてもよい。また、第６図に
示すようにターンテーブル３１の突部３２の高さ
寸法をガラス原板３３の厚さ寸法よりも小さくし
て突部３２の上方に円柱状の凹部３４を形成する
とともに、この突部３２の上面にレジスト吸込口
３５を設け、レジスト吸込口３５から吸込んだレ
ジストを第２の連通路３６を介して外部に排出す
る構成にしてもよい。さらに、その他この考案の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できること
は勿論である。

〔考案の効果〕

この考案によれば、ターンテーブルの中央に突
設された位置決め用の突部にレジスト吸込口を設
け、この突部に嵌合された被塗布体の取付孔の内
側に浸入する不要なレジストをこのレジスト吸込
口から吸込むようにしたので、被塗布体の取付孔
の内側に浸入したレジストが遠心力によつて再び
取付孔の外方に押し出されて、被塗布体の上に飛
散することを防止することができ、被塗布体の表
面に塗布されるレジスト膜の厚さ寸法を全面にわ
たつて均一化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す縦断面図、第２図乃至第
４図はこの考案の一実施例を示すもので、第２図
は全体の概略構成を示す縦断面図、第３図は要部
の縦断面図、第４図は同平面図、第５図および第
６図はそれぞれ異なる別の実施例を示す縦断面図
である。 １１，３１……ターンテーブル、１２，３２…
…突部、１５，３３……ガラス原板（被塗布
体）、１６……取付孔、２１，３５……レジスト
吸込口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ターンテーブルの表面中央に突設された位置決
   め用の突部に被塗布体の中央に設けられた取付孔
   を嵌合させた状態で前記ターンテーブルに前記被
   塗布体を固着し、この固着状態で前記被塗布体の
   表面全体にレジストを塗布するとともに、前記タ
   ーンテーブルの回転により前記被塗布体表面の不
   要なレジストを遠心力によつて飛散させて前記被
   塗布体の表面に設定膜厚のレジスト膜を塗布する
   レジスト塗布装置において、前記ターンテーブル
   の突部にレジスト吸込口を設け、このレジスト吸
   込口を介して不要なレジストを吸込むようにした
   ことを特徴とするレジスト塗布装置。