JPS6144831U - ウエ−ハ乾燥装置 - Google Patents

ウエ−ハ乾燥装置

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JPS6144831U
JPS6144831U JP13086984U JP13086984U JPS6144831U JP S6144831 U JPS6144831 U JP S6144831U JP 13086984 U JP13086984 U JP 13086984U JP 13086984 U JP13086984 U JP 13086984U JP S6144831 U JPS6144831 U JP S6144831U
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JP
Japan
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wafer drying
drying equipment
hole
view
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JP13086984U
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JPH0143862Y2 (ja
Inventor
宣夫 飯島
Original Assignee
富士通株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例における模式側断面図、第２
Ｗｃよジンバルばねによる係合手段の構造を模式的に
示す斜視図、第３図は乾燥処理中における乾燥気体の流
れを示す模式側断面図、第４図は従来のウエーハ乾燥装
置の模式側断面図ａ及び模式上面図ｂ１第５図はフレキ
シブル・シャフト−を有する回転系の模式側断面図ａ及
び強制振動の状態図ｂ１である。 図において、１は半導体ウエーハ、２ａｔ２Ｃ，はウエ
ーハキャリア、３は回転容器（第１の容器）、５はモー
タ、６は第１の孔、７はモータのシャフト、９は軸受け
、１３は第２の孔、１４は外部容器（第２の容器）、１
５は排気ダクト、１６は回転軸、１７はフレキシブルな
係合手段、１８は気体噴出孔、１９は送気管、２０は蓋
板、を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転軸に可撓性を有する結合手段を介して係合され側面
    に第１の孔を有する第１の容器と、該第１の容器のほぼ
    中心軸位置から該第１の容器の内側面に向かって気体を
    噴出する送風手段と、該第１の容器を内包し側面に第２
    の孔を有する第２の容器と、該第２の容器の外側面上に
    配設された排気手段とを有してなることを特徴とするウ
    エーハ乾燥装置。
JP13086984U 1984-08-29 1984-08-29 ウエ−ハ乾燥装置 Granted JPS6144831U (ja)

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JP13086984U JPS6144831U (ja) 1984-08-29 1984-08-29 ウエ−ハ乾燥装置

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Publication Number Publication Date
JPS6144831U true JPS6144831U (ja) 1986-03-25
JPH0143862Y2 JPH0143862Y2 (ja) 1989-12-19

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JP (1) JPS6144831U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63246242A (ja) * 1987-04-01 1988-10-13 大建工業株式会社 耐摩耗性板材及びその製造方法
JPH0195040A (ja) * 1987-10-08 1989-04-13 Kanazawa Jushi Kogyo Kk 木材製構造用部材

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63246242A (ja) * 1987-04-01 1988-10-13 大建工業株式会社 耐摩耗性板材及びその製造方法
JPH0195040A (ja) * 1987-10-08 1989-04-13 Kanazawa Jushi Kogyo Kk 木材製構造用部材

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Publication number Publication date
JPH0143862Y2 (ja) 1989-12-19

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