JPS59173341U - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPS59173341U JPS59173341U JP6788783U JP6788783U JPS59173341U JP S59173341 U JPS59173341 U JP S59173341U JP 6788783 U JP6788783 U JP 6788783U JP 6788783 U JP6788783 U JP 6788783U JP S59173341 U JPS59173341 U JP S59173341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating device
- rotary coating
- holding portion
- substrate
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の回転塗布装置の断面図、第2図は本考案
の一実施例における真空チャックの斜視図、第3図は本
考案のチャックを装備した回転塗布装置の断面図である
。 1・・・・・・回転軸、2・・・・・・ウェハー、3・
・・・・・貫通口、4・・・・・・真空吸引用溝、5・
・・・・・ホトレジスト、6・・・・・・モータ、7・
・・・・・保持部、8・・・・・・ウェハ位置決めリン
グ。
の一実施例における真空チャックの斜視図、第3図は本
考案のチャックを装備した回転塗布装置の断面図である
。 1・・・・・・回転軸、2・・・・・・ウェハー、3・
・・・・・貫通口、4・・・・・・真空吸引用溝、5・
・・・・・ホトレジスト、6・・・・・・モータ、7・
・・・・・保持部、8・・・・・・ウェハ位置決めリン
グ。
Claims (1)
- 基板の保持部と、この保持部を回転させる回転軸と、前
記保持部の底部に前記基板と略一致した大きさの中心位
置決め部材とを有する二吉を特徴とする回転塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6788783U JPS59173341U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6788783U JPS59173341U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 回転塗布装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59173341U true JPS59173341U (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=30198072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6788783U Pending JPS59173341U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59173341U (ja) |
-
1983
- 1983-05-06 JP JP6788783U patent/JPS59173341U/ja active Pending
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