JPS59117136U - エピタキシヤル成長装置用サセプタ− - Google Patents
エピタキシヤル成長装置用サセプタ−Info
- Publication number
- JPS59117136U JPS59117136U JP1013983U JP1013983U JPS59117136U JP S59117136 U JPS59117136 U JP S59117136U JP 1013983 U JP1013983 U JP 1013983U JP 1013983 U JP1013983 U JP 1013983U JP S59117136 U JPS59117136 U JP S59117136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- epitaxial growth
- growth equipment
- equipment
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図、および第３図はそれぞれ本考案の一実
施例の全体断面図、平面図、および一部拡大断面図であ
る。 １・・・・・・サセプター、２・・・・・・インナーサ
セプター、３・・・・・・ウェハース、４・・・・・・
ガスノズル、５・・・・・・回転軸、６・・・・・・Ｒ
Ｆコイル、７・・・・・・サセプター回転方向、８・・
・・・・インナーサセプター、９・・・・・・ペルジャ
ー。
施例の全体断面図、平面図、および一部拡大断面図であ
る。 １・・・・・・サセプター、２・・・・・・インナーサ
セプター、３・・・・・・ウェハース、４・・・・・・
ガスノズル、５・・・・・・回転軸、６・・・・・・Ｒ
Ｆコイル、７・・・・・・サセプター回転方向、８・・
・・・・インナーサセプター、９・・・・・・ペルジャ
ー。
Claims (1)
- エピタキシャル成長装置に使用するサセプターにおいて
、ウェハースをローディングする部分が円状回転するよ
うにしたことを特徴とする円板状のサセプター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1013983U JPS59117136U (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | エピタキシヤル成長装置用サセプタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1013983U JPS59117136U (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | エピタキシヤル成長装置用サセプタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59117136U true JPS59117136U (ja) | 1984-08-07 |
Family
ID=30141581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1013983U Pending JPS59117136U (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | エピタキシヤル成長装置用サセプタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59117136U (ja) |
-
1983
- 1983-01-27 JP JP1013983U patent/JPS59117136U/ja active Pending
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