JPS605116U - 気相成長用サセプタ - Google Patents

気相成長用サセプタ

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Publication number
JPS605116U
JPS605116U JP9621583U JP9621583U JPS605116U JP S605116 U JPS605116 U JP S605116U JP 9621583 U JP9621583 U JP 9621583U JP 9621583 U JP9621583 U JP 9621583U JP S605116 U JPS605116 U JP S605116U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
susceptor
vapor phase
phase growth
placing
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9621583U
Other languages
English (en)
Inventor
長谷野　義男
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP9621583U priority Critical patent/JPS605116U/ja
Publication of JPS605116U publication Critical patent/JPS605116U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のサセプターを示す図で、第１ａ図は平面
図、第１ｂ図はａ図のＡ−Ａ’における断面図。第２図
は本考案のサセプターの一実施例を示す図で、第２ａ図
は平面図、第２ｂ図はａ図のＢ−Ｂ’における断面図で
ウェハー及びスペーサーを載置した部分拡大図である。 １０．２０・・・・・・炭化けい素、１１．２１・・曲
サセプター、１２．２２・・・・・・ウェハー、１３．
２３・・・・・・外側凹部、２４・・・・・・内側凹部
、２５・・・・・・スペーサー、２６・・・・・・炭素
芯材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハーを載置するための凹部を二段有する板状部材と
    、スペーサーを載置し加熱する支持加熱−用部材とを有
    して成ることを特徴とする気相成長用サセプタ。
JP9621583U 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ Pending JPS605116U (ja)

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JP9621583U JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9621583U JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS605116U true JPS605116U (ja) 1985-01-14

Family

ID=30229399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9621583U Pending JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

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Country Link
JP (1) JPS605116U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244981U (ja) * 1985-09-02 1987-03-18

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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