JPS6089282U - 気相成長用サセプタ− - Google Patents

気相成長用サセプタ−

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JPS6089282U
JPS6089282U JP18225583U JP18225583U JPS6089282U JP S6089282 U JPS6089282 U JP S6089282U JP 18225583 U JP18225583 U JP 18225583U JP 18225583 U JP18225583 U JP 18225583U JP S6089282 U JPS6089282 U JP S6089282U
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JP
Japan
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susceptor
vapor phase
phase growth
protrusions
abstract
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Pending
Application number
JP18225583U
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Inventor
功 佐藤
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のサセプターの一実施例を示す断面図、第
２図は従来のサセプターの他の実施例を示す断面図、第
３図は本考案の一実施例のサセプターの上面図、第４図
は突起の断面図、第５図は突起の位置関係を示す上面図
、第６図は突起により支持された半導体基板を示す説明
図である。 １・・・半導体基板、２・・・シリコンカーバイド被覆
層、３・・・サセプタ一本体（グラファイト層）、４・
・・本考案の一実施例のサセプター、５・・・突起、６
・・・半導体基板め外周。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基板の周辺部を支持する複数の突起を具備し、該
    突起はサセプタ一本体と同じ材質により一体として構成
    されていることを特徴とする気相成長用サセプター。
JP18225583U 1983-11-28 1983-11-28 気相成長用サセプタ− Pending JPS6089282U (ja)

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JP18225583U JPS6089282U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気相成長用サセプタ−

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JP18225583U JPS6089282U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気相成長用サセプタ−

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JPS6089282U true JPS6089282U (ja) 1985-06-19

Family

ID=30394742

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18225583U Pending JPS6089282U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気相成長用サセプタ−

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JP (1) JPS6089282U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02122431U (ja) * 1989-03-20 1990-10-08

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02122431U (ja) * 1989-03-20 1990-10-08

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