JPS60185331U - 気相成長装置 - Google Patents

気相成長装置

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Publication number
JPS60185331U
JPS60185331U JP7271684U JP7271684U JPS60185331U JP S60185331 U JPS60185331 U JP S60185331U JP 7271684 U JP7271684 U JP 7271684U JP 7271684 U JP7271684 U JP 7271684U JP S60185331 U JPS60185331 U JP S60185331U
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JP
Japan
Prior art keywords
vapor phase
susceptor
phase growth
bell jar
growth equipment
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Pending
Application number
JP7271684U
Other languages
English (en)
Inventor
紺野　英一
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS60185331U publication Critical patent/JPS60185331U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の気相成長装置を示す断面図、第２図は本
考案の一実施例を示す断面図である。 １・・・・・・ステンレス鋼製ベルジャ、２・・・・・
・石英製ベルジャ、３・・・・・・サセプタ、４・・・
・・・高周波コイル、５・・・・・・半導体ウェハ、６
・・・・・・反応ガス供給ノズル、７・・・・・・排気
孔、８・・・・・・ヒータ（１）、９・・・・・・ヒー
タ（２）、１０・・・・・・ボート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１のベルジャと、該第１のベルジャの内面に着脱自在
    に取り付けられた第２のベルジャと、該第２のベルジャ
    内に設けられた回転し、半導体ウェハを載置するための
    サセプタと、前記第１と第２のベルジャー間に設けられ
    た第１のヒータと前記サセプタの下部に設けられた第２
    のヒータとを有し、前記半導体ウェハを前記サセプタ上
    に同心円上に垂直に立て、排気孔を前記サセプタに有す
    ることを特徴とする気相成長装置。
JP7271684U 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置 Pending JPS60185331U (ja)

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JP7271684U JPS60185331U (ja) 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置

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JP7271684U JPS60185331U (ja) 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置

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JPS60185331U true JPS60185331U (ja) 1985-12-09

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ID=30611386

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