JPS60185331U - 気相成長装置 - Google Patents

気相成長装置

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JPS60185331U
JPS60185331U JP7271684U JP7271684U JPS60185331U JP S60185331 U JPS60185331 U JP S60185331U JP 7271684 U JP7271684 U JP 7271684U JP 7271684 U JP7271684 U JP 7271684U JP S60185331 U JPS60185331 U JP S60185331U
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JP
Japan
Prior art keywords
vapor phase
susceptor
phase growth
bell jar
growth equipment
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Pending
Application number
JP7271684U
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English (en)
Inventor
紺野　英一
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の気相成長装置を示す断面図、第２図は本
考案の一実施例を示す断面図である。 １・・・・・・ステンレス鋼製ベルジャ、２・・・・・
・石英製ベルジャ、３・・・・・・サセプタ、４・・・
・・・高周波コイル、５・・・・・・半導体ウェハ、６
・・・・・・反応ガス供給ノズル、７・・・・・・排気
孔、８・・・・・・ヒータ（１）、９・・・・・・ヒー
タ（２）、１０・・・・・・ボート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１のベルジャと、該第１のベルジャの内面に着脱自在
    に取り付けられた第２のベルジャと、該第２のベルジャ
    内に設けられた回転し、半導体ウェハを載置するための
    サセプタと、前記第１と第２のベルジャー間に設けられ
    た第１のヒータと前記サセプタの下部に設けられた第２
    のヒータとを有し、前記半導体ウェハを前記サセプタ上
    に同心円上に垂直に立て、排気孔を前記サセプタに有す
    ることを特徴とする気相成長装置。
JP7271684U 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置 Pending JPS60185331U (ja)

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JP7271684U JPS60185331U (ja) 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置

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JP7271684U JPS60185331U (ja) 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置

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JPS60185331U true JPS60185331U (ja) 1985-12-09

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ID=30611386

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JP7271684U Pending JPS60185331U (ja) 1984-05-18 1984-05-18 気相成長装置

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