JPS62190335U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62190335U JPS62190335U JP7695586U JP7695586U JPS62190335U JP S62190335 U JPS62190335 U JP S62190335U JP 7695586 U JP7695586 U JP 7695586U JP 7695586 U JP7695586 U JP 7695586U JP S62190335 U JPS62190335 U JP S62190335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- supply nozzle
- large number
- reaction container
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は本考案の特徴を説明する部分図である。 １……ウエハ、２……ホルダ、３……ベルジヤ
、４……サセプタ、５……加熱コイル、６……ガ
ス供給ノズル、６１……流量配分機、７……排気
ノズル。
図は本考案の特徴を説明する部分図である。 １……ウエハ、２……ホルダ、３……ベルジヤ
、４……サセプタ、５……加熱コイル、６……ガ
ス供給ノズル、６１……流量配分機、７……排気
ノズル。
Claims (1)
- 半導体ウエハを互にその主面を平行とするよう
に多数並べ反応容器内に収納し、前記反応容器内
に設置したスリツトまたは多数の孔を有するガス
供給ノズルを用いて前記半導体ウエハ外周より主
面にほぼ平行に反応ガスを供給し気相成長層を形
成する装置において、前記ガス供給ノズルの管内
にノズル長手方向流量配分を調節するための調節
機能を有することを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7695586U JPS62190335U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7695586U JPS62190335U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62190335U true JPS62190335U (ja) | 1987-12-03 |
Family
ID=30924509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7695586U Pending JPS62190335U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62190335U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH044736U (ja) * | 1990-04-26 | 1992-01-16 |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP7695586U patent/JPS62190335U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH044736U (ja) * | 1990-04-26 | 1992-01-16 |
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