JPH0165128U - - Google Patents
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- JPH0165128U JPH0165128U JP1987160007U JP16000787U JPH0165128U JP H0165128 U JPH0165128 U JP H0165128U JP 1987160007 U JP1987160007 U JP 1987160007U JP 16000787 U JP16000787 U JP 16000787U JP H0165128 U JPH0165128 U JP H0165128U
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- JP
- Japan
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- reaction tube
- gas
- supply container
- inch
- pipe
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
図1は化合物半導体製造装置を示す図。
1:反応管、2:化合物半導体成長用基板、3
:サセプター、4:高周波加熱用コイル、5:マ
スフローコントローラー、6:有機金属ガス原料
供給容器、7:有機金属化合物、8:有機金属容
器と反応管を結ぶ配管、9:バルブ、10:H2
ガス精製器、11:N2ガス精製器、12:V族
ガスボンベ、13:H2ガス、14:N2ガス、
15:ガス排気系。
:サセプター、4:高周波加熱用コイル、5:マ
スフローコントローラー、6:有機金属ガス原料
供給容器、7:有機金属化合物、8:有機金属容
器と反応管を結ぶ配管、9:バルブ、10:H2
ガス精製器、11:N2ガス精製器、12:V族
ガスボンベ、13:H2ガス、14:N2ガス、
15:ガス排気系。
Claims (1)
- 本考案は結晶成長用反応管と有機金属化合物気
体供給容器とを管径1/6〜1/10インチなる
パイプにて結合したことを特徴とする化合物半導
体製造用気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987160007U JPH0165128U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987160007U JPH0165128U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0165128U true JPH0165128U (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=31441710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987160007U Pending JPH0165128U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0165128U (ja) |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP1987160007U patent/JPH0165128U/ja active Pending