JPS6346836U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6346836U JPS6346836U JP14072386U JP14072386U JPS6346836U JP S6346836 U JPS6346836 U JP S6346836U JP 14072386 U JP14072386 U JP 14072386U JP 14072386 U JP14072386 U JP 14072386U JP S6346836 U JPS6346836 U JP S6346836U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- vapor phase
- phase growth
- substrate
- reaction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
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- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は本考案装置の一実施例の概略構成図、
第２図はガス流制御手段の面形状の模式図、第３
図は従来の装置により形成した成晶膜の膜厚分布
の模式図である。 １……反応管、２……導入口、４……サセプタ
（基板保持手段）、５……ＧａＡｓ基板、６……
支軸、７……モータ、８……内管（ガス流制御手
段）、１０……ヒータコイル（加熱手段）。
第２図はガス流制御手段の面形状の模式図、第３
図は従来の装置により形成した成晶膜の膜厚分布
の模式図である。 １……反応管、２……導入口、４……サセプタ
（基板保持手段）、５……ＧａＡｓ基板、６……
支軸、７……モータ、８……内管（ガス流制御手
段）、１０……ヒータコイル（加熱手段）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １） 反応管と、該反応管内に設けられる基板保
持手段と、加熱手段とを備え、反応管内に反応ガ
スを供給して基板上に結晶成長を行う気相成長装
置において、反応管内に基板表面と対向し所定の
面形状を有して反応ガスの流れを規制するガス流
制御手段を具備することを特徴とする気相成長装
置。 ２） 基板保持手段とガス流制御手段は回転可能
に設けられていることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14072386U JPS6346836U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14072386U JPS6346836U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6346836U true JPS6346836U (ja) | 1988-03-30 |
Family
ID=31047841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14072386U Pending JPS6346836U (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6346836U (ja) |
-
1986
- 1986-09-12 JP JP14072386U patent/JPS6346836U/ja active Pending