JPS5812940U - 気相成長装置用サセプタ - Google Patents

気相成長装置用サセプタ

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Publication number
JPS5812940U
JPS5812940U JP10555281U JP10555281U JPS5812940U JP S5812940 U JPS5812940 U JP S5812940U JP 10555281 U JP10555281 U JP 10555281U JP 10555281 U JP10555281 U JP 10555281U JP S5812940 U JPS5812940 U JP S5812940U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
susceptor
phase growth
vapor phase
semiconductor wafer
growth equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10555281U
Other languages
English (en)
Inventor
吉三 小宮山
宮崎　美彦
松永　重次
石川　武敏
Original Assignee
東芝機械株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 東芝機械株式会社 filed Critical 東芝機械株式会社
Priority to JP10555281U priority Critical patent/JPS5812940U/ja
Publication of JPS5812940U publication Critical patent/JPS5812940U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のサセプタを用いた気相成長装置の概略的
横断平面図、第２図は同じく概略的縦断側面図、第３図
は本考案サセプタの一実施例を用いた気相成長装置の概
略的横断平面図、第４図は同じく概略的縦断正面図、第
５図は第３図Ｖ−Ｖ線に沿う概略的縦断側面図、第６図
は本考案サセプタの半導体ウェハ載置状態の断面図、第
７図は本考案サセプタの他の実施例を示す断面図、第８
図イ９口、ハ、二は本考案サセプタのさらに異なる他の
実施例をそれぞれ示す断面図である。 １・・・反応管、８・・・反応ガス、９・・・高周波加
熱コイル、１０・・・サセプタ、１３・・・半導体ウェ
ハ、１０ａ〜１０ｅ・・・半導体ウェハ載置面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 反応管内に半導体ウェハが載置されたサセプタを収容し
    、上記サセプタを加熱した状態で反応管内に反応ガスを
    流すことにより、上記半導体ウェハのエピタキシャル成
    長を行なわせるようにした気相成長装置用のもので、上
    記反応ガスの流れる方向に沿って伸びる複数の半導体ウ
    エノ１載置面を有し、該複数の半導体ウエノ１載置面が
    互いに角度をもって相対的に傾斜されそいることを特徴
    とする気相成長装置用サセプタ。
JP10555281U 1981-07-16 1981-07-16 気相成長装置用サセプタ Pending JPS5812940U (ja)

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JPS5812940U true JPS5812940U (ja) 1983-01-27

Family

ID=29900084

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62134125U (ja) * 1986-02-19 1987-08-24

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62134125U (ja) * 1986-02-19 1987-08-24
JPH0418026Y2 (ja) * 1986-02-19 1992-04-22

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