JPS59111039U - 拡散用石英管 - Google Patents
拡散用石英管Info
- Publication number
- JPS59111039U JPS59111039U JP459483U JP459483U JPS59111039U JP S59111039 U JPS59111039 U JP S59111039U JP 459483 U JP459483 U JP 459483U JP 459483 U JP459483 U JP 459483U JP S59111039 U JPS59111039 U JP S59111039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion
- quartz tube
- recorded
- polycrystalline silicon
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の閉管拡散用石英管の使用状態の一例を示
す断面図、第２図は本考案の一実施例の閉管拡散用石英
管の使用状態の一例を示す断面図である。 １・・・石英管、４・・・シリコン板、５・・・拡散源
、６・・・多結晶シリコン層。 ′
す断面図、第２図は本考案の一実施例の閉管拡散用石英
管の使用状態の一例を示す断面図である。 １・・・石英管、４・・・シリコン板、５・・・拡散源
、６・・・多結晶シリコン層。 ′
Claims (1)
- 内面に多結晶シリコン析出層を有することを特徴とする
拡散用石英管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP459483U JPS59111039U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 拡散用石英管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP459483U JPS59111039U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 拡散用石英管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59111039U true JPS59111039U (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=30136190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP459483U Pending JPS59111039U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 拡散用石英管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59111039U (ja) |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP459483U patent/JPS59111039U/ja active Pending
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