JPS5852541U - フオトマスク - Google Patents
フオトマスクInfo
- Publication number
- JPS5852541U JPS5852541U JP1981148025U JP14802581U JPS5852541U JP S5852541 U JPS5852541 U JP S5852541U JP 1981148025 U JP1981148025 U JP 1981148025U JP 14802581 U JP14802581 U JP 14802581U JP S5852541 U JPS5852541 U JP S5852541U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photo mask
- transparent substrate
- mask pattern
- thin film
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の一実施例に係るフォトマスクを説明
する断面構成図、第２図はこの考案の他 、の実
施例を説明する断面構成図である。 １１・・・透明基板、１２・・・ゼラチン膜、１３゜１
５・・・マスクパターン、１４・・・保護膜。
する断面構成図、第２図はこの考案の他 、の実
施例を説明する断面構成図である。 １１・・・透明基板、１２・・・ゼラチン膜、１３゜１
５・・・マスクパターン、１４・・・保護膜。
Claims (1)
- 透明基板上に形成されたマスクパターン表面に、炭化シ
リコンまたは窒化硼素からなる薄膜を形成したことを特
徴とするフォトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981148025U JPS5852541U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | フオトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981148025U JPS5852541U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | フオトマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5852541U true JPS5852541U (ja) | 1983-04-09 |
Family
ID=29940853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981148025U Pending JPS5852541U (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | フオトマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852541U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504315A (ja) * | 1973-05-18 | 1975-01-17 |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP1981148025U patent/JPS5852541U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS504315A (ja) * | 1973-05-18 | 1975-01-17 |
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