JPS587144U - フオトマスク - Google Patents
フオトマスクInfo
- Publication number
- JPS587144U JPS587144U JP1981101020U JP10102081U JPS587144U JP S587144 U JPS587144 U JP S587144U JP 1981101020 U JP1981101020 U JP 1981101020U JP 10102081 U JP10102081 U JP 10102081U JP S587144 U JPS587144 U JP S587144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- photo mask
- inclined surface
- substrate
- degrees
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のフォトマスクを示し、ａは平面図、ｂは
側面図、Ｃは斜視図、第２図は本考案のフォトマスクの
一実施例を示し、ａは平面図、ｂは側面図、Ｃは斜視図
である。 １はフォトマスク、２は金属クロムなどの遮光面、３は
印字、４は傾斜面である。なお、図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
側面図、Ｃは斜視図、第２図は本考案のフォトマスクの
一実施例を示し、ａは平面図、ｂは側面図、Ｃは斜視図
である。 １はフォトマスク、２は金属クロムなどの遮光面、３は
印字、４は傾斜面である。なお、図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
Claims (1)
- ガラス基板表面に金属クロムなどを被着したフォトマス
クにおいて、フォトマスクの側面に近接して印字された
その対応側面を該基板表面に対して４５度近傍の鋭角を
なす研磨された傾斜面とし、この傾斜面を少なくとも一
面有することを特徴とするフォトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981101020U JPS587144U (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | フオトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981101020U JPS587144U (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | フオトマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587144U true JPS587144U (ja) | 1983-01-18 |
Family
ID=29895692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981101020U Pending JPS587144U (ja) | 1981-07-06 | 1981-07-06 | フオトマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587144U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5915938A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-27 | Hoya Corp | マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板 |
| US7226705B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-06-05 | Hoya Corporation | Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus |
-
1981
- 1981-07-06 JP JP1981101020U patent/JPS587144U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5915938A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-27 | Hoya Corp | マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板 |
| US7226705B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-06-05 | Hoya Corporation | Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus |
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